Yarimo'tkazgichli mikrosxemalarni ishlab chiqarish texnologiyasi

3. Radiatsiyali stimulyatsiyali diffuziya - kristalning yorug'lik ionlari bilan substrat atomlarini siljitish uchun etarli energiya bilan bombardimon qilinishi natijasida nopoklik kiritilishiga asoslangan. Nurlanish issiqlik bilan ishlov berish paytida (t = 600-700 o C) yoki undan oldin amalga oshiriladi.
Ushbu kurs loyihasi uchun yuqori issiqlik tarqalishi ishlatiladi, chunki Ion implantatsiyasining nochorligi - sirt qatlamining tuzilishini buzilishi va nuqsonlarning ko'payishi, shuningdek texnologik uskunalarning murakkabligi. Tarqatish an'anaviy usul yordamida amalga oshiriladi ochiq quvur gazli manbalardan (BBr 3, PH 3) va qattiq manbalardan (surma oksidi).
13. Metallashtirish. Hozirda ishlatilayotgan barcha metallizatsiya tizimlarini ikkiga bo'lish mumkin quyidagi turlar: bir qatlamli, ko'p qatlamli, ko'p qatlamli, hajmli (volumetrik o'tkazgichlar).
· Bir qatlamli alyuminiy metallizatsiyasi asosan past darajadagi integratsiyali, past quvvatli, 1 gigagertsgacha chastotalarda ishlaydigan, yuqori ishonchlilik talablari uchun mo'ljallanmagan IClarda qo'llaniladi.
· Ko'p qatlamli metallizatsiya bir qator hollarda talablarga to'liq javob beradi, lekin kam texnologik, chunki tarkibida bir nechta metall qatlami bor. Odatda bir necha qatlamlardan iborat: aloqa qatlami - silikon plyonkaga yotqizish tartibida birinchi (volfram, molibden, xrom, nikel, alyuminiy, titan, palladiy, o'tga chidamli metallarning silikidlari); ajratuvchi qatlam - aloqa va o'tkazuvchi so'zlar uchun izchil materiallarni topish qiyin bo'lgan hollarda ishlatiladi; Supero'tkazuvchi qatlam - qo'llanilish tartibidagi oxirgi metallizatsiya qatlami yaxshi elektr o'tkazuvchanlikka ega bo'lishi va aloqa panellarini korpus terminallariga (mis, alyuminiy, oltin) yuqori sifatli ishonchli ulanishini ta'minlashi kerak.
· Katta va o'ta katta IClarda ko'p darajali metallizatsiya qo'llaniladi. Elementlar sonining ko'payishi elementlararo ulanish maydonini ham oshiradi, shuning uchun ular bir necha darajalarga joylashtiriladi.
Ushbu kurs loyihasida biz bir qatlamli alyuminiy metallizatsiyasini amalga oshiramiz.