В современных системах автоматизированного проектирования ши

108
Рис. 4.5.
Устройство для получения нанодорожек 
личных нанодорожек. 
Эта задача решается тем, что устройство дополнительно снабжено 
двухкоординатными пьезоприводами, жёстко закреплёнными на торце ос-
новного. На торцах дополнительных двухкоординатных пьезоприводов 
установлены ёмкости с рабочим веществом. С каждой ёмкостью герметич-
но связана капиллярная трубка, свободный торец которой расположен 
вблизи острия зонда. 
Введение в устройство для получения нанодорожек дополнительных 
двухкоординатных пьезоприводов, жёстко закреплённых на торце основ-
ного, ёмкостей с рабочим веществом, установленных на торцах двухкоор-
динатных пьезоприводов, а так же капиллярных трубок, свободные торцы 
которых расположены вблизи острия зонда, позволяет наносить мозаич-
ную структуру на поверхность подложки. 
Устройство для получения нанодорожек содержит зонд 1, жестко за-
креплённый на основном пьезоприводе 2, установленный на платформе 3, 
подложку 4, установленную на основании 5 и блок питания 6, электриче-
ски связанный с зондом 1 и подложкой 4. Так же оно оснащено двумя до-

---

109
полнительными двухкоординатными пьезоприводами 7, жёстко закреп-
лёнными на торце основного пьезопривода 2, ёмкостями 8, с рабочим ве-
ществом, установленными на торцах двухкоординатных пьезоприводов 7, 
и капилярными трубками 9, свободные торцы которых расположены вбли-
зи острия зонда. 
Устройства для получения нанодорожек работает следующим обра-
зом. 
Посредством основного пьезопривода устанавливается туннельный 
зазор между зондом и подложкой. С помощью дополнительных двухкоор-
динатных пьезоприводов сопла с рабочим веществом устанавливаются в 
исходное положение. В туннельный зазор подаётся рабочее вещество из 
сопл 9. Количество сопл, а следовательно, и рабочих веществ не ограниче-
но. При подаче разности потенциалов между зондом и подложкой, атомы 
рабочего вещества проникают в глубь подложки. В результате чего появ-
ляется возможность наносить мозаичную структуру на поверхность под-
ложки. 
Применение предложенного устройства для получения нанодорожек 
позволяет значительно упростить нанесение мозаичной структуры на по-
верхность подложки [100].