В современных системах автоматизированного проектирования ши

4.2. Устройство для получения углеродных плёнок
В основу устройства положена задача снизить толщину, при реали-
зации получаемых углеродных плёнок на наноуровне. 
Эта задача решается тем, что между молекулярным источником и 
подложкой установлена система подачи инертного газа, выполненная в 
виде тепловой трубы, связанной с криопанелью. 
Введение в устройство для получения углеродных плёнок молеку-
лярного источника и подложки, а также введение установленной системы 
подачи инертного газа, выполненного в виде тепловой трубы, связанной с 
криопанелью обеспечивает возможность снизить толщину, при реализации 
получаемых углеродных плёнок на наноуровне. 
Устройство для получения углеродных пленок представлено на рис. 
4.4. Оно содержит молекулярный источник 1, установленный с возможно-
стью воздействия на подложку 2, выполненную из полупроводникового 
материала. Между молекулярным источником 1 и подложкой установлена 
система подачи инертного газа 3, выполненная в виде тепловой трубы 4, 
связанной с криопанелью 5. 
При подаче напряжения на молекулярный источник 1, инертный газ 

---

107
Рис. 4.4.
Устройство для получения углеродных плёнок 
напускаемый системой подачи 3 ионизируется и осаждается на подложке 
2, выполненной из полупроводникового материала, в виде плёнки нано-
размерной толщины Технологическая зона осаждения изолирована от воз-
действия внешней среды криопанелью 5, а рабочая температура поддержи-
вается с помощью тепловой трубы 4 [100]. 
Применение предложенного устройства для получения углеродных 
плёнок позволяет получать углеродные пленки наноразмерной толщины.
4.3. Устройство для получения нанодорожек
В основу устройства, показанного на рис. 4.5, положена задача обес-
печения возможности оперативного управления процессом получения раз- 

---