Учебно-методический комплекс по дисциплине «математические модели технологических процессов электронной техники»

2.4. МОДУЛЬ 4.
Моделирование процессов выращивания монокристаллов из расплава
2.4.1. Лекционный материал (4 час.).
Влияние примесей на свойства получаемых монокристаллов. Поведение примесей при выращивании кристаллов из расплава. Коэффициент распределения. Выращивание монокристаллов с равномерным распределением примеси по поперечному сечению и длине. Оценка однородности полупроводников.
2.4.2. Лабораторные занятия (4 час.).

• 
  Программирование кристаллизационного процесса (изменение условий роста монокристаллов).
  

2.4.3. Самостоятельная работа (10 час.).
Обработка и анализ результатов лабораторных работ, подготовка к коллоквиуму, практическим занятиям.
3. ФОРМЫ ОТЧЕТНОСТИ:
3.1. Защита отчетов лабораторных работ по теме, выполненной по индивидуальному заданию в рамках лабораторного практикума.
4. ЛИТЕРАТУРА
4.1. Основная:

1. 
   Барыбин А.А. Физико-технологические основы электроники / А.А. Барыбин, В.Г. Сидоров; под общ. ред. А. А. Барыбина. СПб: Лань, 2001. 268 с.
   
2. 
   Максимов А.И. Модели и моделирование в научных исследованиях : учеб. пособие по курсу " Методология научных исследований" / Максимов А.Н.; Федерал. агентство по образованию Рос. Федерации, ГОУВПО, ИГХТУ. - Иваново, 2006. - 87 с.
   
3. 
   Холоднов В.А., Дьяконов В.П., Иванова Е.Н., Кирьянова Л.С. Математическое моделирование и оптимизация химико-технологических процессов.: Практическое руководство. – СПб.: АНОНПО «Профессионал», 2003.- 480 с.
   

Дополнительная:

1. 
   Чернявский С.Р. Математическое моделирование в технологии материалов и изделий электронной техники: Текст лекций / С.Р. Чернявский; ИГХТА. Иваново, 1995. М 604. 63с.
   
2. 
   Курносов, А.И., Юдин, В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. М.: Высшая школа, 1979. 368с.
   
3. 
   Тихонов А.Н., Уфимцев М.В. Статистическая обработка результатов экспериментов: Учебное пособие. -М.: Изд-во Моск. ун-та, 1988.-174 с.
   

5. ПРИМЕНЕНИЕ ЭВМ.
Все практические и лабораторные занятия проводятся в дисплейном классе на персональных ЭВМ.
5.1. Расчетные программы.
5.2. Обучающе-контролирующие системы:
- тренировочные и контрольные тесты по каждому модулю;
- текст лекций с контрольными вопросами для самопроверки.