Turli ion zarralar sepiladigan elektron foton va sirt usullari ikkinchi ion emissiya

§2.2. Emissiya tadqiqotlari uchun eksperimental qurilma
ikkinchi zarralar.
Nedditiv hodisalarni buzadigan amallar bilan tadqiq qilish uchun
turli xil metallar, yarim o'tkazgichlar va dielektrlar ta'sirida
Klaster ionlari maxsus yaratilgan juftlikdan foydalanilgan
massspektrometricheskaya o'rnatish, sxemasi ko'rsatilgan shakl. 2.2 [2A;
c.146-150].

41
Shakl. 2.2. Eksperimental o'rnatish sxemasi: 1 - yuzaki -
Cs ionlarining ionlanish manbai
+
; 2 - tezlashtiruvchi elektrod; 3, 7, 9, 10, 13
– bitta elektrostatik linzalar; 4 - maqsad isitgich; 5 –
püskürtülebilir maqsad; 6 - tezlashtiruvchi elektrod; 8, 15- magnit
masseparator; 11, 14 asosiy ionlarning rad etish tizimi; 12 – tadqiq
maqsad; 16 - elektron multiplikator.
O'rnatish salbiy purkagich manbasidan iborat
Klaster ionlari, asosiy ionlar va magnit separator
mass-spektrometr mi 1201 asosida ikkilamchi ion analizatori. Bor edi
eksperimental qurilma modernizatsiya qilindi
birlamchi Klaster ionlarining massalari va energiyasini kengaytirish,
ikkilamchi ionlarning massa spektrlarini o'lchashning aniqligini oshirish, shuningdek
Klaster bombardimonchi ionlarining boshqa turlarini qo'llash. Manba
ionlar Klaster va ko'p zaryadli ionlarni olish, ajratish va ajratish imkonini beradi
ularni 21 keV ga tezlashtiring. Ikkilamchi ionlarning massa spektrometri imkon beradi
4000 gacha bo'lgan massalar bo'yicha ikkilamchi Klaster ionlarini tahlil qilish
a. e. m. 400 gacha bo'lgan o'lcham bilan, shuningdek o'lchash
ikkilamchi ionlarning energiya taqsimlanishi.

42
§2.3. Ikkilamchi emissiya ion manbalari ishlab chiqildi.
Klaster bombardimonchi ionlari yordamida, joyiga
atom
ichida
ikkilamchi-ion
mass-spektrometriya,
sezilarli
ikkilamchi ionlarning, ayniqsa klasterlarning unadditiv chiqishi ortadi
va molekulyar, shu jumladan, SIMS silikonida ifloslik mavjud.
Bu "cluster-SIMS-cluster" rejimini taklif qilish uchun asos bo'lib xizmat qildi
keyinchalik aniq
“cluster-SIMS-molecule”,
qachon
foydalanish
ichida
sifat
Bomber zarralar Klaster ionlari ishlatiladi, va sifatida
atomlarni o'z ichiga olgan aniqlangan (tahlil qilingan) molekulyar ionlar
aralashmalarning tahlil [89;
o'tish: saytda harakatlanish, qidiruv Chiqish ortishi sababli
ikkilamchi ionlar asosan bombardimon ionlarning turiga bog'liq,
eng mos keladigan narsalarni aniqlash bo'yicha tadqiqotlar olib borilmoqda
cluster-SIMS uchun Klaster ionlarini bombardimon qilish. Chunki, erishilgan
og'ir klasterli Au ionlarini qo'llashda maksimal ta'sir
m
, Bi
m
(m=3,5) va SIMS uchun organik materiallar, shuningdek, C fulleren ionlarining
60
[90; c. 1073–1075]. Yangi texnologiyalar ehtiyojlari uchun VIMSDAN foydalanish
ushbu tahlil uslubiga maksimal talablar qo'yadi. Uchun
ushbu usulning imkoniyatlarini kamaytirish ushbu usullarda juda muhimdir
ba'zi yoki boshqalarning kichik afzalliklarini aniqlash shartlari
ionlarni bombardimon qilish. Zich oqimlarni olish dolzarbdir,
Klaster va ko'p zaryadli ionlarni bombardimon qilish, shuningdek, yaratish
o'tish: saytda harakatlanish, qidiruv