Tell me about yourself please o'zingiz haqingizda gapirib bering marhamat briefly about myself

Диссертация ишининг вазифалари
Thesis objectives
Dissertation tasks
Tasks of the dissertation
Термик оксидланиш ва ионли имплантация усуллари билан германий ва кремний юзасида ҳосил қилинган нанотизимларнинг таркибини, электрон структурасини, эмиссион ва оптик хусусиятларини ўрганиш;
Study of the composition, electronic structure, emission and optical properties of nanosystems formed on the surface of germanium and silicon by the methods of thermal oxidation and ion implantation;
ион имплантация билан яримўтказгич материаллар юзасида ҳосил қилинган нанофазалар ва наноплёнкаларнинг таркиби ва физик хусусиятларига узоқ муддатли қиздириш ва электрон бомбардировканинг таъсирини ўрганиш;
study of the effect of prolonged heating and electron bombardment on the composition and physical properties of nanophases and nanofilms formed on the surface of semiconductor materials by ion implantation;
киритилган атомларнинг германий ва юпқа оксидли пленкаларига эга бўлган германийнинг чанглатиш коэффициентларига таъсирини баҳолашга имкон берувчи назарий ҳисобларни ўтказиш.
carrying out theoretical calculations to estimate the effect of the introduced atoms on the dusting coefficients of Ge and thin oxide films.


Тадқиқотнинг объекти Object of study
Ион имплантация ва ўтказиш усуллари билан германий ва кремний юзасида ҳосил қилинган нанотизимларнинг (Е₀=0,5-5 кэВ).
Nanosystems formed on the surface of germanium and silicon by ion implantation and transfer (E0 = 0.5-5 keV).


Тадқиқотнинг предмети ярим ўтказгич материаллар юза ва юза ости қатламларида нанокристалл ва нанопленкаларнинг шаклланиш қонуниятлари ва физик механизмларидан иборат
Research subjects
Regularities and physical mechanisms of the formation of nanocrystals and nanofilms on the surface and substrates of semiconductor materials.

Тадқиқотнинг усуллари Research methods
Оже - электрон спектроскопияси (ОЭС), тез электронларнинг дифракцияси (ТЭД), растрли электрон микроскоп (РЭМ), ультрабинафша фотоэлектрон спектроскопияси (УБЭС), эластик қайтган электронлар спектроскопияси (ЭҚЭС), электронларнинг характерли энергия йўқотиш спектроскопияси (ЭХЭЙС), атом кучлари микроскопи (АКМ).
Oje - electron spectroscopy (OES), high electron diffraction (TED), scanning electron microscopy (REM), ultraviolet photoelectron spectroscopy (UBES), elastic reversible electron spectroscopy (EQES), characteristic energy loss spectroscopy (EXEYS), atomic force microscopy. ).