Studwood ru рефераты, курсовые, дипломные

Глава 2 Методика формирования металлических покрытий на устройстве ВУП-5 и исследование спектрофотометрических характеристик

1. 
   Общие сведения и устройство ВУП-5
   

ВУП-5 – Вакуумный универсальный пост.

1-рабочая камера; 2-вентиль для напуска воздуха: 3-высоковакуумный затвор; 4-ловушка; 5-деффузионный насос: 5-форвакуумиый насос: 7-вентиль для напуска воздуха в насос; 8-вентиль.

Прибор выполнен одной стойкой, в которой размещены рабочий объем, предназначенный для препарирования объектов; вакуумная система, предназначенная для получения требуемого режима в рабочем объеме; блоки питания устройств и приставок и пульты управления.

Стойка разделена перегородкой на две части, в одной из которых размещена вакуумная система с электромагнитными клапанами для ее коммутации, преобразователи ПМТ-4М или ПМТ-2, ПМИ-3 для контроля вакуума и автоматического управления вакуумной системой, вентиль пьезоэлектрической и баллон с аргоном. В другой части стойки размещены блоки питания устройств и приставок и трансформаторы накала испарителей.
Для удобства монтажа, профилактических и ремонтных работ предусмотрены съемные задние и боковые щитки, а впереди открывающиеся двери обеих частей, а также легкосъемные платы управления прибором, собранные в единой кассете.
На стойке размещены рабочий объем и пульт управления и индикации режимов работы прибора. Все блоки питания, пульты управления, кассеты с печатными платами имеет электрическую связь через жгуты и кабели, уложенные в обеих частях стойки.
Оригинальным в конструкции вакуумной системы является высоковакуумный клапан. Клапан устанавливается на столике рабочего объема. Он содержит заслонку, рычаг и привод. Атмосферное давление, воздействующее на верхнюю часть плунжера, перемещает его с тягой вниз, сжимая пружину. Левая часть рычага с заслонкой поднимается и соединяет диффузионный насос с рабочим объемом.
Для подготовки к исследованию имеются устройства и приставки. Эти устройства и приставки устанавливаются в рабочем объеме в зависимости от выбора методики подготовки отбора. Каждое из устройств имеет вакуумное конструкцию и легко заменяется, одно другим. Все операции по подготовки объекта контролируются с помощью индикаторных приборов и других методов контроля.
Основными операциями по подготовки объектов можно назвать термическое испарение вещества с помощью резистивных и электронного испарителей, а так же ионную обработку объектов.
резистивный покрытие вакуумный пленка