Санкт-Петербург

Калинкина Мария Евгеньевна 
Год рождения: 1991 
Университет ИТМО, факультет безопасности информационных 
технологий, кафедра проектирования и безопасности компьютерных 
систем, аспирант 
Направление подготовки: 09.06.01 – Информатика и вычислительная 
техника 
e-mail: [e-mail] 
Козлов Алексей Сергеевич 
Год рождения: 1984 
Университет ИТМО, факультет безопасности информационных 
технологий, кафедра проектирования и безопасности компьютерных 
систем, аспирант 
Направление подготовки: 09.06.01 – Информатика и вычислительная 
техника 
e-mail: [e-mail] 
Лабковская Римма Яновна 
Год рождения: 1988 
Университет ИТМО, факультет безопасности информационных 
технологий, кафедра проектирования и безопасности компьютерных 
систем, к.т.н. 
e-mail: [e-mail] 
Пирожникова Ольга Игоревна 
Год рождения: 1989 
Университет ИТМО, факультет безопасности информационных 
технологий, кафедра проектирования и безопасности компьютерных 
систем, к.т.н. 
e-mail: [e-mail] 
Ткалич Вера Леонидовна 
Университет ИТМО, факультет безопасности информационных 
технологий, кафедра проектирования и безопасности компьютерных 
систем, д.т.н., профессор 
e-mail: [e-mail] 
УДК 531.768 
ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТРОВ 
Калинкина М.Е., Козлов А.С., Лабковская Р.Я., Пирожникова О.И., Ткалич В.Л. 
Научный руководитель – к.ф.-м.н., доцент Сидорова Е.И. 
Работа выполнена в рамках темы НИР № 617026 «Технологии киберфизических систем: 
управление, вычисления, безопасность». 

---

Альманах научных работ молодых ученых 
XLVII научной и учебно-методической конференции Университета ИТМО. Том 1 
67 
Микромеханические датчики инерциальных систем навигации и управления находят все более 
широкое применение на подвижных объектах различных видов применения. Успехи в разработке 
методов и средств производства изделий микроэлектроники позволили обеспечить необходимую базу 
для разработки и массового производства микроакселерометров. 
Ключевые слова: микроакселерометр, акселерометр, микромеханические датчики, МЕМС, 
микроэлектроника. 
Развитие данной области науки и техники началось в 1960-х гг., однако вопросы 
теоретического и практического характера остаются нерешенными и, становятся все более 
сложными из-за растущих требований к системам автоматического контроля и мониторинга. 
Качество и динамические свойства акселерометров, которые широко используются в 
различных отраслях промышленности, во многом определяются качеством чувствительного 
элемента в системах стабилизации и навигации. 
Для разработки и усложнения процессов управления подвижными объектами требуется 
постоянное увеличение точности измерений параметров движения, включая ускорение, а 
также обработку информации. Принципы проектирования микромеханических систем, 
методы анализа и синтеза их свойств требуют постоянного улучшения. Факторы, 
упомянутые выше, и определяют актуальность темы исследования.