С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

0,4
0,5
0,714
1
1,25
1,4286
1,666
2
f (d/S) 0,9995 0,9974 0,9798 0,9214
0,849
0,7538 0,7225 0,6636
39

---

1.5-жадвал
b/S
/ Ф /S )
I (о/b, b/S)
D/S
a/b - i
a/b= 2
a/b= 3
a/b>4
1,00
0,9988
0,9994
1,25
1,2467
1,2248
1,50
1,4788
1,4893
1,4893
1,75
1,7196
1,7238
1,7238
2,00
1,9454
1,9475
1,9475
2,50
2,3532
2,3541
2,3541
3,00
2,265
2,457
2,7000
2,7005
2,7005
4,00
2,929
3,114
3,2246
3,2248
3,2248
5,00
3,362
3,510
3,5750
3,5750
3,5750
2,50
3,927
4,0095
4,0361
4,0362
4,0362
10,00
4,172
4,2209
4,2357
4,2357
4.2357
15,00
4,365
4,3882
4,2947
4,3947
4,3947
20,00
4,436
4,516
4,4553
4,4553
4,4553
40,00
4,508
4,5120
4,5129
4,5129
4,5129
4,532
4,5324
4,5324
4,5325
4,5325
Намуна диск куринишида булганда
р
=
л
7'-
й
И
jM f) 
е л )
булади. Квадрат учларига жойлаштирилган турт зондли 
усул билан улчанган юпк;а к,атламларнинг солиштирма 
Каршилиги
p = l
h
d = R ’ d = G : J
d  
<1 J 3 >
40

---

формула билак аникланади, Бу ердагк R s~o/d катлам- 
нинг сирт каршилиги деб нсмлакади. Диаметри D булган 
доиравий намунада р  ни улчашда зондлар дойра марка- 
зида жойлашган булса, тузатиш функцияси:
СП- = 2л \
1л 2 -i- In ; 
“ Г'~у j ! 
(1.74)
! 
1 I + *$■; O' I . 
\
/
1.5-§. Эпитаксиал, диффузиям цатламларнинг 
солиштирма каршилигини турт зондли 
усул билан аниклаш
Икки катламли структураларда, масалан, таглик сир­
тида диффузия йули билан олинган катламни ёки таг- 
ликдан утказувчанлигининг кагталиги ва тури билан фарк- 
ланган эпитаксиал катламларнинг солиштирма карши- 
ликларини, уларнинг калинлик буйича таксимотини 
аниклашда турт зондли усул кулланилиши мумкин (1.16- 
расм).
Чегаралари чексизликка силжиган юпка икки катлам­
ли структура (S>dv d2) ток зондларига нисбатан параллел 
уланган занжир косил килади. Демак, 1 ва 4 зондлардан 
утаётган токнинг бир кисми /, биринчи катламдан, /2 кис­
ми иккинчи катламдан утади, яъни
/ = / , + /,
,, 
г 
Ьг 2 
, 
In 2 
и ~ Ifpn,-- = i'jp n ,---
71 
Я
(1.75)
(1.76)
/
1
*-s -* 
2
- S -
-гЛ
- S -
4
1
ш
т г
I
> /
 С; 
/
/ 16-расм. Солиштирма каршиликни турт зондли усул билан улчаш
мумкин булган эпитаксиал структура турлари.
41
4— 55

---

Бу «раа: р л1, р п2 — солиштирма сирт каршилиги. Иккинчи 
ифода параллел уланган занжирдаги кучланишни, 2 ва 3 
зондлардаги потенциаллар айирмасини беради. Бу икки 
формуладанр^р^с/,, p 2=pn2d2 эканлиги ^исобга олинганда
(oxd\+o2d2) = (dl/p l + d2/p2) = -j— • — 
(1.77)
тенгликни топамиз. Агар катламлардан бирини утказув­
чанлиги жуда катта, масалан, биринчи юпка катлам ники 
df/x> d 2a2 булса, иккинчи катлам структурада токнинг ути- 
шига таъсир этмайди. Бундай кшща улчанган солиштир­
ма каршилик биринчи катламга тегишли булиб, (1.51) 
оркали аникланади:
* - Т - Й
<'-78,
Юпка эпитаксиал катлам ва таглик икки хил тур утказув­
чанликка эга булса, чегарада хрсил булган р-п утиш ток­
нинг остки катлам оркали утишига тус^инлик килади. 
Демак, турт зондли усул р+р, п+п структураларда, яъни 
тагликнинг солиштирма каршилиги эпитаксиал катлам- 
никидан камида юз марта катта булган хрлларда р-п, п-р 
туридаги структураларда солиштирма каршиликни аник,- 
лашда кулланилиши мумкин ва юкорида курилган икки 
Катламли структураларда диффузион, эпитаксиал катлам­
нинг солиштирма каршиликлари юпка намуналар учун 
уринли булган формула билан х,исобланади.
1.6-§. Солиштирма каршиликни турт зондли усул 
билан улчашдаги хатоликлар
Турт зондли усул билан улчашдаги хатоликлар солиш­
тирма каршиликни улчашнинг физик моделининг наза- 
рияда кабул килинган моделидан фаркди булиши форму- 
лага кирган катталикларни улчаш, улчаш шарти ва тар- 
тибига боглик, булган тасодифий, мунтазам хатоликлар 
оркали аникланади. Бу хатоликлар манбаини гуриб чи- 
Кайлик.
42

---