С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

0,006
0,01
0,1
1
10
100
1000
С(я-тип)
0,002
-0,00022 0,0486 0,00736 0,00813
0,0083
0,0083
Ст(р-тип)
0,0016
0,0031
0,0372
0,00707
0,00825
0,00862
0,009
7. Икки цатламли структураларда р ни улчашда 
учрайдиган хатоликлар
Эпитаксиал катламларнинг солиштирма каршилиги- 
ни аникдашда уларнинг хусусияти билан боглик, бир к,анча 
хатоликлар пайдо булиши мумкин. Эпитаксиал кдтламда 
солиштирма каршилик улчанаётганда р-п ва п-р структу­
раларда р-п утишнинг \ажмий заряд со\аси кенгаяди. 
Эпитаксиал катламнинг солиштирма каршилиги таглик- 
никидан катта булганда хажмий заряд со\асининг кен- 
гайиши эпитаксиал катлам томонга булади. Бу хдцисани 
\исобга олмай (1.62) ва (1.63) формулалар билан солиш­
тирма каршилик х,исобланганда, унинг киймати ортти- 
риб улчанган булади, Ю кори Ом ли, юпка эпитаксиал 
катламларни улчашда бу хатолик 10-^20% га етиши мум­
кин.
8. Изоляцияловчи р-п утиш орцали ток 
утишдаги хатолик
Зондлардан утаётган токнинг купайиши р-п утишга 
Куйилган тескари кучланишни орттиради, натижада хаж­
мий заряд со\асидаги электр майдон кучланганлиги уса­
ди. Бу шароитда р-п утишини изоляция кдлиш хоссаси 
токнинг маълум кийматигача сакланади. Токнинг катта 
Кийматларида хажмий заряд сохаси оркали тагликдан ток 
ута бошлайди. Аникианишича, солиштирма каршилиги 
0,1-ь2 Ом • см, калинлиги 0,9-ь4 мкм л-тип эпитаксиал
47

---

' кдтлам, солиштирма каршилиги р ~[0 Ом - см р — типли 
тагликка утказилган булса, > нда эпитаксиал к^атламнинг 
Каршилиги улчакаётганда р-п утиш оркали шунтланмас- 
лиги учу?! сирт каршилигининг 5% узгариш сохасида по­
тенциал зондлзрдаги кучланиш 100 мВ, сирт каршилиги­
нинг 2% узгариш сохасида 50 мВ булиши керак,
9. Зондларга цуйилган босим кучининг 
киритган хатолиги
Юпк,а эпитаксиал кагламларнинг солиштирма карши­
лигини улчашда металл зонд билан эпитаксиал катлам - 
нинг тешилиши ва тагликда шунтланиш кучайиши мум­
кин. Бу ходиса содир булмаслиги учун зондга куйилган 
кучни кичик килиб танлаш керак. Зондга куйилган Урта­
ча кучланиш 0,3*0,03 Н булиши тавсия этилади. Зондга 
Куйилган кучни бундан кам булиши зонд контакт кар­
шилигини оширади, бу эса улчов асбобларининг кириш 
Каршилигини оширишни талаб килади. Эпитаксиал кат- 
ламларда гокорида курилган омиллар унинг сирт карши­
лигини токка боглик булишига олиб келади (1.17-раем). 
Бу богланиш графигини бешта сохага ажратиш мумкин. 
I-сохада ток ортиши билан сирт каршилигининг кама­
йиши, зонд яримутказгич орасидаги потенциал тусицнинг 
камайиши ва потенциал контактлари каршилигининг
/. 17-раем. Эпитаксиал кдтламларда сирт каршилигини зондлапдан 
окаётган токкз богликлиги.
4;-:

---

ошиши билан тушунтирилади. Агар Яки^ » RK] +Rk2 тенг­
сизлик бажарилмаса RKl ва /?к, ларнинг токка богликдиги 
1-со\ани пайдо к,илади. Агар зондлардаги босим ортти- 
рилса ва вольтметрнинг кириш кдршилигининг катгаси 
олинса, 1 -со^а йуколиши мумкин. 2-со\ада Rs -- сирт 
каршилиги токка боглик, эмас. Бу сох.ада Rt^ » R y, +Rk2 
булганда энг катта аникдик билан солиштирма карши­
лик улчанади. Бу тенгсизлик бажарилмаса, 2-сохдда мун- 
газам равишда хатолик пайдо булиб, у RK] +• R J R m катга- 
лик билан аникланади. 3-сох.анинг пайдо булиши изоля­
цияловчи р-п утиш оркали ток сиркиши билан боглик 
Сирт каршилигининг ошиши 4-со\адар-п утишнинг хаж­
мий заряд сохаси кенгзйиши билан боглик- 5-сохада Rs- 
нинг тез камайиши ток (бир кисми)нинг таглик оркали 
утиши шунтланиши билан боглихдир.
1.7-S- Ван-дер-Пау усули билан солиштирма 
каршиликни улчаш
Исталган геометрик шаклга эга булган пластина кури­
нишидаги яримутказгичли намуналарнинг солиштирма 
Каршилигини турт зондли усулнинг бир куриниши булган 
Ван-дер-Пау усули билан улчаш мумкин (1.18-расм). Бу 
усулнинг кулайлиги шундан иборатки, ясси намуна ён
1.18-расм. Ван-дер-Пау усули билан солиштирма царшиликни 
улчашда чизихли А, В, С, Д контактларни (оригиналда) асл нусхада 
(а), ясси яримчексиз пластинада (аксида) М, N. О, Р контактларнинг