Электростатика

Криоэнергетика
, 
криобиология, криохимия, криомеди-
цина
стремительно возникали, усиливая всеобщую тенденцию 
к использованию в технике свойств веществ при низких темпе-
ратурах. 
По мере того как в радиоэлектронике назревал коренной 
поворот, обусловленный развитием технологической базы мик-
роэлектроники, это тяготение к низким температурам охватило 
и микроэлектронное аппаратостроение. Одна за другой возни-
кали новые проблемы, решение которых известными методами 
интегральных схем при обычных температурах было в принци-
пе невозможно или настолько затруднено, что их практическая 
реализация ставилась под сомнение. В то же время одно за дру-
гим следовали открытия новых явлений в пленочных структу-
рах при низких температурах, не реализованных в микроэлек-
тронике. Однако криоэлектроника все-таки развивалась не так 
быстро, как другие ветви микроэлектроники. Причин, тормо-
зивших ее развитие, было немало, прежде всего: недостаточная 
изученность электронных процессов в охлажденных структурах 
и пленках на базе твердого тела, недостаточность реальных 
конструкторско-технологических идей по созданию интеграль-
ных электронных приборов на основе этих процессов и особен-
но надежных, воспроизводимых многоэлементных, многослой-
ных интегральных схем с субмикронными зазорами, а также 
практических методов снижения удельного веса затрат на ох-

---

224 
лаждение интегральных приборов до уровня затрат на обычное 
термостатирование и увеличение срока непрерывного действия 
охлажденных устройств. Поэтому криоэлектроника является 
комплексной областью знаний и включает несколько основных 
направлении: 
криоэлектронное материаловедение; СВЧ 
криоэлектронику на объемных компонентах; сверхпроводни-