В современных системах автоматизированного проектирования ши

4.4. Устройство наноперемещений 
В основу устройства положена задача повысить быстродействие за 
счёт нитевидного зонда и линий напряженности между обкладками кон-
денсатора, выполняющих роль направляющих. 
Эта задача решается тем, что периферийная часть зонда выполнена 
нитевидной, диаметром (0,05÷0,1) мм, 
С 
крестообразными закреплёнными 
на ней электропроводящими пластинами таким образом, что острие зонда 
расположено ниже электропроводящих пластин на (0,5÷1,0) мм. Пластины, 

---

110
в свою очередь, установлены между обкладками двух конденсаторов, рас-
положенными взаимноперпендикулярно, с возможностью независимой 
подачи электрического напряжения на их обкладки. 
Введение в устройство наноперемещений неподвижного основания, 
установленного на нём пьезопривода, на торце которого закреплён зонд с 
возможностью электрического взаимодействия с подложкой, установлен-
ный на платформу, а также периферийную часть зонда выполненную ните-
видной, диаметром (0,5÷1,0) мкм, с крестообразными закреплёнными на 
ней электропроводящими пластинами таким образом, что острие зонда 
расположено ниже электропроводящих пластин на (0,5÷1,0) мкм, которые, 
в свою очередь установлены между обкладками двух конденсаторов, рас-
положенными взаимноперпендикулярно, с возможностью независимой по-
дачи электрического напряжения на их обкладки, позволяет повысить бы-
стродействие за счёт нитевидного зонда и линий напряженности между 
обкладками конденсатора, выполняющих роль направляющих. 
Устройство наноперемещений показано на рис. 4.6 и содержит не-
подвижное основание 1, установленный на нём пьезопривод 2, на торце 
которого закреплён зонд 3 с возможностью электрического взаимодейст-
вия с подложкой 4, установленной на платформу 5. Переферийная часть 6 
зонда 3 выполнена нитевидной, диаметром (0,5÷1,0) мкм, с крестообраз-
ными закреплёнными на ней электропроводящими пластинами 7 таким 
образом, что острие зонда 3 расположенно ниже электропроводящих пла-
стин 7 на (0,5÷1,0) мкм. Пластины 7, в свою очередь установлены между 
обкладками 8 двух конденсаторов 9, 10, расположенными взаимноперпен-
дикулярно, с возможностью независимой подачи электрического напряже-
ния на их обкладки 8. 
Устройство наноперемещений работает следующим образом. С по-
мощью пьезопривода периферийная часть зонда выполненная нитевидной, 
диаметром (0,5÷1,0) мкм, устанавливается в зазор между электропроводя- 

---