Izotermal va lazer tavlashda

monokristalli kremniyda
MK bir vaqtning o'zida mezo va mikro darajalarda. Da
98 O'Yu Axborotnomasi ÿ 9 (145)/sentyabr`2012
bitta
/
0
Machine Translated by Google

---

t
k p
=
+
ÿ
VESTNIK OSU ÿ9 (145)/2012 yil sentyabr 99
Tn - boshlang'ich harorat.
Shakl 4. 5500-6500 lazer pulslarida piramidal tuzilmalar
5-rasm. 5500, 6000, 6500 da piramidal klasterlarning zichligi
Bir kristalli kremniy sirtining modifikatsiyalari...
impulslar
Ashiqqalieva K.X. va boshq.
$
impuls;
ko'p miqdordagi dislokatsiyalar, oksidli plyonkalar,
egizaklar va past burchakli chegaralarga ega kremniy
lazer va izotermik muolajalar sezilarli darajada
farq qiladi. MK sirtini o'zgartirish
alohida bayramlar kabi
20 ± 4 mkm, umumiy
piramidal tuzilmalarning
o'rtacha davri
5500– rejimlari bilan
t - pulsning davomiyligi;
Bu to'lqinli va konsentrik ekanligi aniqlandi
kremniy kristalli. Biroq, termal stresslarning
qiymati nisbatan ahamiyatsiz
piramidal tuzilmalar,
ammo bunday
klasterlarning maydoni kichik,
maydoni ortadi
zichligi (5-rasm).
hajmi va shakli bo'yicha.
R - aks ettirish koeffitsienti;
lazer bilan ishlov berish paytida harorat gradienti,
kremniy sirtining faqat mahalliy hududi
qizdirilganda, moddaning qolgan qismi sovuq
bo'lib qoladi. Nurlanish zonasining markazida
erishilgan harorat, bizning holatlarimizda,
tuzilmalar. To'lqinsimonlarning shakllanishi
erib, kondensatsiyalanadi, sirtda konsentrik
tuzilmalar hosil qiladi [4, b. 598].
Yangi tarkibiy jihat aniqlandi
PS o'zlari katta bor
Qabul qilinganlarga ko'ra
taxminan.
yopishqoq suyuqlik fazasida va undan keyingi kremniy
ham individual, ham jamoaviy.
shakl. O'sish bilan
Kremniy eritmasida 6000
zarba aniqlangan
bu erda q - yorug'lik oqimining quvvat zichligi
keyin MC ning sirt modifikatsiyasi natijalari
piramidal klasterlar, PS
ko'proq bir hil
eksperimental qayta
midas va "koloniyalar"
izotermik ishlov berish paytida u dislokatsiyalar
bilan aniqlanadi, ularning paydo bo'lishi va
harakatida termal stresslar mavjudligi bilan bog'liq.
(3-rasm (A)).
a - issiqlik tarqalishi;
Barcha nurlanish rejimlari
ostidagi piramidal
klasterlar taxminan bir xil
o'lchamlari va
5500-6500 impulslar rejimlarida eritilgan kremniy
zonalarida davriy piramidal tuzilmalar mavjud edi.
Ushbu piramidal tuzilmalar (PS) sifatida
joylashgan bo'lishi mumkin
eritmaning deformatsiyasi bilan bog'liq tuzilmalar
formula yordamida hisoblash mumkin:
impulslar soni 6500 tagacha
Shaxsiy PS ning o'rtacha hajmiga etadi
lazer ta'siri tugagandan so'ng kristallanish (3-
rasm (B, C)). Konsentrik tuzilmalarning mavjudligi
lazer nurlanishi ta'sirida kremniy atomlari va atom
klasterlarining kinetik energiyasining ortishi va
ablatsiyasi bilan bog'liq bo'lishi mumkin. Uchuvchi
tomchilar
7 mkm (4-rasm).
×10
)
(
Machine Translated by Google

---

4. Banishev A.F., Balykina E.A. Silikon va mis sirtini impulsli va impulsli davriy ostida yo'q qilish
silikonda kislorodning to'planishi va cho'kishi jarayonlari. - Ulyanovsk: UlGU, 2006. - 108 b.
3. Grigoryants, A.G.Lazerli ishlov berishning texnologik jarayonlari. - Moskva: nomidagi Moskva davlat texnika universiteti. N.E. Bauman, 2006. - 664 b.
1. Svetuxin, V.V. ni boshqarishga asoslangan zamonaviy istiqbolli kremniy texnologiyalarini simulyatsiya qilish
574 b.