O`zbekiston respublikasi oliy va o`rta maxsus ta’lim vazirligi urganch davlat universiteti “mehnat ta’limi” kafedrasi

 
Mikroelektromexanik sistemalar 
Mikroelektromexanik sistemalar (MEMS) kremniy substrtiga qotirilgan, juda 
ko‘p  elektr  elementlar  bilan  integratsiya  qilingan,  ko‘pgina  miniatyur  mexanik 
moslamalardan iborat “aqlli” moslamalardir (1.5 bo‘lim). Mexanik komponentlari – 
bu  mikrosensorlar  (datchiklar)  va  mikroprotsessorlar  (kuchlanish  uzatmalari). 
Mikrosensorlar  mexanik.  Xarorat,  kimyoviy,  optik  va  magnit  ko‘rsatkichlarni 
o‘lchab,ofdagi  muxit  xolati  xaqida  axborot  yig‘adi.  Keyin  sistemaning 
mikroelektron komponentlari to‘plangan axborotni uzatadi va kerakli qarorlar qabul 
qiladi,  so‘ng  bu  qarorlar  ijrochi  organlarga  yetkaziladi,  ular  esa  pozitsiyalash  va 
xarakatlanish,  nasos  yoqish,  ko‘rsatkichlarni  tartibga  soladi  va  filtratsiya  kabi 
amallarni  bajaradi.  Mikroprotsessorlar  tarkibiga  chiroq  manbaalari,  tishlik 
peredachalar,  dvigatel  va  membranalar  kiradi;  bu  barcha  elementlar  bir  necha 
mikron  atrofida  mikroskopik  xajmda  bo‘ladi.  13.10.  rasmda  MESM  chiziqli 
uzatkichining tishlik peredacha elektron mikrofotografiyasi ko‘rsatilgan. 
        MESM  yaratish  metodikasikremniy  asosidagi  integral  mikrosxemalar 
yaratishdan  deyarli  farq  qilmaydi.    Jarayon  yaxshi  tanish  bo‘lgan  fotolitografiya, 
ionlar  inplantatsiyasi,  ishlov  berish,  purkash  texnologiyalaridan  iborat.  Bundan 

---

 
105 
tashqari,  ba’zi  mexanik  moslamalar  mikroskopik  stanok  ishlovi  texnologiyalari 
ishlatish  orqali  tayyorlanadi.  MESM  komponentlari  –  bu  puxta  ishlangan, 
mustaxkam miniatyur maxsulotlardir. Bundan tashqari, ular partiyalab tayyorlangani 
uchun, MESM yaratish texnologiyasi kamxarj va bu moslamalar narxi baland emas. 
        Biroq  MESM  yaratishda  kremniy  ishlatishning  ma’lum  cheklovlari  mavjud. 
Gap  shundaki  kremniyning  parchalanish  qovushqoqligi  qiymati 
aytarli past bo‘lib, uning yumshash xarorati (600
o
C)uncha baland emas, va u namlik 
va  kislorod  ta’siriga  juda  ta’sirchandir.  Shuning  uchun  zamonaviy  tadqiqotlar 
yanada zarbabardosh, issiqqa chidamli, yanada inertroq bo‘lgan keramik materiallar 
yaratishga  qaratilgan.  Bu  ba’zi  MESM  komponentlari  uchun  juda  muxim,  ayniqsa 
katta tezlikda ishlatiladiganlar va nanoturbinalar uchun. Bu maqsadlar uchun tavsiya 
etilgan  keramik  material  –  bu  kremniy  amorf  karbonitrili  (kremniy  karbidi  va 
kremniy  nitridi  qotishmasi),  metaloorganik  prekursorlar  orqaliolinadi.  Bunday 
keramik  MESMlar  yaratishda  shubxasiz14  bo‘limda  ko‘rsatilgan  an’anaviy 
texnologiyalar qo‘llanadi. 

---

 
106 
 
 MESM 
chiziqli 
uzatkichining 
tishlik 
peredacha 
elektron 
skanerlovchi 
mikrofotografiyasi  ko‘rsatilgan.  Bu  moslama  yuqori  chapdagi  shesternyaning 
aylanma  xarakatini  reykaning  chiziqli  xarakatiga  aylantiradi.  Kattalashtirish 
taxminan x100. 
        MESM  lar  ishlatishning  bir  misoli  –  bu  ular  asosida  akselerometrlar 
(tezlanish/sekinlanishni  o‘lchash  datchiklari)  yasash  bo‘lib,  ular  avtomobil 
avriyalarda  shishiriladigan  xavsizlik  yostiqchalari  sensorlari  sifatida  ishlatiladi. 
Bunday  qo‘llanishda  mikroelektron  sxemalarning  muxim  komponenti  bo‘lib  erkin 
joylashgan  mikroo‘zak  xizmat  qiladi.  Standart  qurilmalarga  qaraganda  xavsizlik 
yostiqchalari  shishirish  sistemasini  yoqishda,  MESMlar  xajmi  kichikroq,  vazni 
yengilroq,  ishonchliroq  va  narxi  pastroqdir.  MESM  potensial  qo‘llash  soxalari: 
elektron  displeylar,  axborot  saqlash  bloklari,  energiyani  o‘zgartirib  beradigan 

---

 
107 
qurilmalar,  kimyoviy  detektorlar  (dorivor  preparatlarning  kimyoviy  va  biologik 
xavfli  substansiyalari  va  skriningi  uchun),  va  DNK  mollekularini  ko‘paytirish  va 
idenfikatsiyalash  uchun  mikrosistemalar  uchun.  Shubxasiz  kelajakda  MESM  bilan 
bog‘liq,  ko‘plab  xozir  ma’lum  bo‘lmagan  texnologiya  variantlari,  jamiyatimizga 
kuchli  ta’sir  o‘tkazadi.  Ular  oxirgi  o‘ttiz  yildagi  mikroelektron  integral  sistemalar 
erishgan yutuqlardan xam o‘tib ketishi mumkin.