O’zbekiston respublikasi oliy va o’rta ta’lim vazirligi toshkent irrigatsiya va qishloq xo’jaligini mexanizatsiyalash muhandislari instituti

3.7.
 
Ko’p qatlamli qoplamalar olishining ion-vakuumli kombinatsiyalangan 
usullari 
 
Ion-vakuumli  texnologiyalar  yordamida  ko‟p  qatlamli  qoplamalarni  olish 
usuli  mustahkamlik  va  yeyilishga  chidamlilikni  oshirishni,  ishqalanish 
koeffitsientini  va   oksidlanish faolligini va  h.z. larni   kamaytirishni   eng samarali 
usulidir.  Ko‟p  qatlamli  qoplamalar  olishining  kombinatsiyalangan  usullari 
tribotexnikada  ishlatiladi,  ular  yuqori  adgeziya  (yopishqoqligi)  ni    va 
ishqalanayotgan yuza bo‟ylab bir xil qalinlikni ta‟minlaydi.   
Yuzalarni  modifikatsiyalashning  texnologik  sxemasi  detal  vazifasidan  va 
ekspluatatsiyalash  (ishlatish)  rejimlardan  kelib  chiqadi.  3.9  rasmda  ko‟p  qatlamli 
qoplamalar  olishining  va  bir  vaqtda  ionli  bombardimon  qilishning  texnologik 
sxemasi  keltirilgan.  Ko‟p  qatlamli  qoplamalarning  tuzilishi  quyidagicha. 
Qoplamaning  pastki  qatlamlari  juda  qattiq,  ustki  qatlamlari  esa  yuqori  plastikli. 
Bunda  yuqori  qatlamlari  ishlatishning  boshlang‟ich  davrida  tegib  turgan 
yuzalarning  maydoni  oshib,  ularning  bir-biriga  normal  holatda  moslanishini 
ta‟minlaydi.  Yeyilish  davom  etishi  bilan  qattiq  qoplama  ishga  tushadi  va 
ishqalanish tugunning talab etilgan ish davomiyligini (resursini) ta‟minlaydi.  
  

---

83 
 
 
 
3.9 rasm. Ko‟p qatlamli qoplamalar olishining texnologik sxemasi 
 
Mavjud  ko‟p  elektrodli  vakuumli  qurilmalar  butun  texnologik  jarayonni 
yagona  vakuum  siklida  bajaradi.  Qoplamani  adgeziyasini    oshirish  maqsadida 
yeyilishga  chidamli  yoki  antifriktsion  qatlamni  hosil  qilish  uchun  tegishli  ionlar 
bilan dastlabki ionli singdirish amalga oshiriladi. Dastlabki ionli singdirish asosiy 
qoplamani yuzaga joylashtirishdan oldin yuzani ionli tozalash, yuza strukturalarida  
nuqsonlar  zichligini  oshirish  va  buyumni  qizdirish  maqsadida  o‟tkaziladi.  Ishlov 
berish  joylashtiriladigan  yoki  asosiy  qoplamaning  tarkibiga  kiradigan  ionlar  bilan 
yuzaga urish (bombardimon qilish) dan iborat. 
  Natijada, buym sirti yuqori vakuumda fizikaviy va kimyoviy tozalanadi va 
tagi  sovuq  bo‟lgan  holda  ustki  qatlam  yuqori  temperaturagacha  qizdiriladi.  Bu 
siquvchi  kuchlanishlar  tufayli  yuzadagi  mikrodarzlarni  yo‟qolishiga,  yuza  g‟adir-
budurligini  yaxshilanishiga  joylashtirilayotgan  moddaning  zarrachalarini  yaxshi 
ushlab  qolinishiga  olib  keladi.  Dastlabki  ionli  bombardimon  davomiyligi  asosan 
detalni  kerakli  temperaturagacha  bir  tekis  qizish  vaqtiga  bog‟liq.  Toblangan 
detallarni  bo‟shatishga  olib  keladigan,  ularning    yuzalarini  o‟ta  qizib  ketishidan 
himoya  qilish  uchun  ionli  tozalashning  davriy  rejimi  ko‟llaniladi.  Misol  sifatida 
ishqalanish  yuzaga  yeyilishga  chudamli  va  bir  vaqtda  antifriktsion  titan  va 
molibden  nitridlardan  iborat  qoplamani  joylashtirishni  ko‟rib  chiqamiz.  Dastlab 
yuzaga Ti va Mo atomlari singdiriladi, keyin qalinligi 0,1…0,2 mkmli titan nitridi 
va  molibdendan  (TiN  va  Mo)  iborat  bo‟lgan  qoplama  joylashtiriladi,    so‟ngra 
ushbu  ionlar  bilan  ionli  singdirish  (implantatsiyalash)  amalga  oshiriladi.  Bundan 
keyin  detal  chizmasida  ko‟rsatilgan  qalinlikda  asosiy  qoplama  joylashtiriladi 

---

84 
 
(singdiriladi).  3.10  rasmda  ionli  implantatsiyalashdan  foydalanib,  ko‟p  qatlamli 
qoplamalarning samaradorligini ko‟rsatib berayotgan  natijalar keltirilgan [4].  
 
 
3.10  rasm.  45  markali  po‟latni  B95  qotishma  ustida  ishqalashda  ionlarni 
implantatsiya energiyasini yeyilish tezligiga ta‟siri: 1  – B
+
;  2  -  Ti
+
;  3  –  Mo
+
;  4  – 
Ti
+
 +  TiN. 
 
3.10 rasmdan ko‟rinib turibdiki, materialni yeyilishga chidamliligini keskin 
oshishi  implantatsiya  energiyasi  20…40  keV  oraliqda  bo‟lganida  kuzatiladi, 
energiyani  bu  oraliqdan  keyin  oshirilishi  yeyilish  tezligini  bir  oz  pasayishiga  olib 
keladi.  Keyin  yuzaga  TiN  qoplamani    o‟rnatib,  Ti  ionlarni  singdirsak, 
puxtalashning eng yaxshi atijaga erishish mumkin. Qoplamani o‟rnatishdan oldin 
detal oxirgi o‟lchamlarga ega bo‟ladi. Ular kameraga joylashtirilishdan oldin УЗВ-
4-15  turdagi  ultratovushli  vannalarda  maxsus  yuvish  vositalar  bilan  yaxshi 
yuviladi.