9.15 § Komplementar MOYa-KNS-IS
Bunday strukturali IS larda parazit sig‘imlar va sizib o‘tuvchi toklar kichik bo‘ladi.
Elementlar o‘lchamining va ichki sig‘imlarning kamayishi IS larning
tezkorligini,
radiatsiyaga
chidamliligini,
integratsiya
darajasini
keskin
oshiradi,quvvatning sochilishini kamayishiga olib keladi.
Taglik sifatida ishlatiluvchi sapfir bilan epitaksial qatlam bo‘lgan kremniy
strukturalari bir-biriga mos kelmaganligi tufayli,sapfir yuzasiga epitaksial qatlam
o‘stirishdan oldin yaxshilab ishlov beriladi. Kremniyli tagliklardan farqli ravishda
sapfirli tagliklar yuqori haroratlarda ishlov berilganda deformatsiyalanmaydi.Hamda
ularning yaroqsiz bo‘lganlarini qayta ishlash mumkin.
Do'stlaringiz bilan baham: |