O’zbekiston respublikasi oliy va o’rta ta’lim vazirligi toshkent irrigatsiya va qishloq xo’jaligini mexanizatsiyalash muhandislari instituti

n
n
2
n
1
pn
pn
kn
kn
A
П
T
A
exp
T
A
j
j
N
 
(7.9) 
 

---

138 
 
bunda  А
1n
  и  A
2n
  –  Knudsen-Lengmyur  bug‟lanish  tenglamadagi
36
 
koeffitsientlar; α
kn
 – kondensatsiya koeffitsienti;  α
pn
 – purkalanish koeffitsienti; ρ 
– qoplamaning zichligi;  μ
П
 – qoplamaning molyar massasi; N
А
 – Avogadro soni. 
Qoplamani o‟sish tezligi hisoblanganda bu jarayonda ishlatiladigan hamma 
metallar bo‟yicha yig‟indisi olinadi. 
Vakuumda  plazmali  purkash  jarayonida  nitrid  va  karbidlarni  olish  uchun 
maxsus ignasimon qurilma orqali vakuum kamerasiga tegishli gaz beriladi, ushbu 
qurilma  yordamida  kamerada bosim  rostlanadi. Metal va reaktsiyaga  kirishadigan 
gazning  miqdorini  va  energetik  sharoitlarni    alohida  rosttlanishi  qoplama  tarkibi 
aniq bo‟lishini ta‟minlaydi. Nitrid va karbidlar olishda bularni vakuum kamerasida 
hosil  bo‟lish  joyi  muhim  ahamiytga  ega.  Zarrachalarning  to‟qnashish  energiyasi 
birikma  hosil  bo‟lish  energiyasidan  katta  bo‟lib,  birikmani  bo‟linish 
(dissotsiatsiya)  energiyasidan  kichik  bo‟lsa,  turg‟unligi  yuqori  birikma  hosil 
bo‟ladi.  Energiyani  vakuum  bo‟shlig‟ida  taqsimlanishi  nitrid  va  karbidlar  asosan 
kondensatsiya  sirtida  yoki  plazma  oqimining  kengayib  borayotgan  chetdagi 
sohalarda paydo bo‟lishini ko‟rsatadi.  
VPT  jarayonning  eng  muhim  parametri  –  bu  reaktsiyaga  kirishuvchi  gaz 
bosimi.  Qoplama  shakllanishida  oqim  zichligi  hamda  bombardimon  va 
kondensatsiya  jarayoniga      ionlarning  energiyasi  muhim  ahamiyatga  ega. 
Ionlarning  energiyasi  bug‟lanayotgan  metalning  atomar  og‟irligiga,  matritsadagi 
tezlashtiruvchi  potentsialiga  va  katoddan  puxtalanayotgan  yuzagacha  masofaga 
bog‟liq. Ta‟sir vaqti bilan birgalikda ionlar energiyasi puxtalanayotgan buymni ish 
yuzalaridagi  temperaturani  belgilaydi,  u  esa  plazmakimyoviy  reaktsiyalar 
muvaffaqiyatli kechishi uchun termik ta‟siri nuqtai nazardan juda muhim. Plazma 
oqimi    puxtalanayotgam  yuzaga  tik    yo‟nalganda  eng  sifatli  qoplamalar  hosil 
bo‟lishni  nazarda  tutib,  oqimga  nisbatan  buyum  yuzasini  joylashishini  hamda  bu 
yuzani plazma oqimiga nisbatan surilish tezligini hisobga olish kerak. 
7.3  rasmda  nitrotitanli  qoplamaning  kristal  panjarasining  parametrini, 
difraktsion  maksimumlar  kenligini  va  qoplama  mikroqattiqligini  reaktsiyaga 
kirishuvchi  azot  gazining  bosimiga  bog‟liqligi  ko‟rsatilgan.  Reaktsiyaga 
kirishuvchi  gazni  har  xil  bosimlarida  vujudga  keladigan  maksimumlari  qoplama 
shakllanishi murakkab kechayoganini ko‟rsatadi.  
Azot  bosimi  o‟zgarishi  bilan  titan  panjarasida  azot  kontsentratsiyasi 
o‟zgaradi,  bu  TiN  qoplamaning  parametrlarini  va  xossalarini  jiddiy  o‟zgarishiga 
olib  keladi.  Qoplamaning  qattiqligi  maksimal  qiymatga  yetgan  bosim  oraligida 
panjaraning mikro qiyshayishlarni ta‟riflaydigan difraktsion maksimumlar kengligi 
eng  katta  qiymatga  yetishi  kuzatiladi.    Ammo  oshirilgan  qattiqlik  va  mikro 
qiyshayishlarning  yuqori  darajasi  qoplama  mo‟rtligini  oshishiga,  ishorasi 
o‟zgaradigan  kuchlanishlar,  termik  zarbalar  va  sirt  shaklini  plastik  o‟zgarishlari 
vujudga kelgan sharoitlarda  mikro- va makro buzilishlarga qarshilikni pasayishiga 
olib keladi. 
Azot  bosimi  oshib  borishi  bilan  kristal  panjaraning  mikroqiyshayishlar 
darajasi  sezilarli  kamayadi,  uning  plastikligi  oshadi,  panjaraning  parametri 
                                                 
36
 Knudsen-Lengmyur tenglamasi bug‟lanish sirtidan modda massani kamayish tezligini belgilaydai 

---

139 
 
nitridotitan  birikmaning  o‟zgarmas  tarkibiga  to‟g‟ri  keladigan  miqdorlargacha 
oshadi, bu bir tekis sharoitlarda hosil bo‟layotgan qoplamaning  tezligini pasayishi 
bilan  bog‟liq.  Bunda  qoplamaning  mo‟rtligi  keskin  kamayadi,  qattiqlikning 
darajasi  esa  yetarli  darajada  yuqori  bo‟ladi  va  u  qoplama  biyumning 
ishqalanayotgan yuzalarini yeyilishdan samarali saqlashi mumkin.    
 
 
 
 
7.3  rasm.  Nitrotitanli  qoplamaning  kristal  panjarasining  parametrini  (a), 
difraktsion  maksimumlar  kengligini  (B),  qoplama  mikroqattiqligini  (HV), 
qoplamaning    P6M5  toblangan  tezkesar  po‟lat  sirtiga  o‟tirish  tezligini  (v)  va 
keskich chidamliligini (T) azot gazining bosimiga bog‟liqligi. 
 
Kichik bosimlar sohasida qoplamaning qattiqligi keskin tushib ketadi, uning 
tarkibi  ikki  fazali  sohaga  to‟gri  keladi,  bu  sohada  notekis  bo‟lgan    nitridotitan 
birikmadan tashqari qoplama asosi bilan birikishini keskin oshiradigan α-Ti paydo 
bo‟ladi.  Bunday  qoplama  eyilishga  yomon  qarshilik  ko‟rsata  oladi,  uning  asbob 
matritsasi  bilan  yopishqoqligi  pasayadi.  Qoplamasi  VPT  usuli  bilan  yotqizilgan 
kesuvchi  asbobning chidamliligi qoplamasiz    kesuvchi  asbobning  chidamliligidan 
deyarli farq kilmaydi.