O’zbekiston respublikasi axborot texnologiyalari va kommunikatsiyalarini rivojlantirish vazirligi muhammad al-xorazmiy nomidagi toshkent axborot texnologiyalari

yuzada joylashadigan tranzistorlar sonini ikki marta oshirish imkonini berdi.MDYA - tranzistorlar ichida metall — nitrid kremniy - dielektrik - yarimo‘tkazgich (MNDYA) tranzistorlar alohida o‘rintutadi Bunday tranzistorlar xotira elementi rolini bajaradi va qayta dasturlanuvchi xotira qurilmalar asosini tashkil etadi MNDYA — tranzistor tuzilmasi (a) va stok-zatvor VAXi(b).Ushbu tranzistor dielektrigi ikki qatlamdan:qalinligi 2+5 nm nitashkil etuvchi va kremniy oksidi ustiga purkalgan 0,05+0,1 mkm qalinlikdagi kremniy nitrididan tashkil topadi.