Mavzu: Vakum texnikasi asoslari. Vakum hosil qilish, uni darajalash. Nasoslar klassifikatsiyasi. Past vakuum olish yuqori vakuum hosil qilish

Vakuum qurilmasining sxemasi rasmda keltirilgan.

1-mexanik nasos, 2-seolit nasos, 3-DMN, 4-SON I,II, 5- ionizasion monometr, 6 – IM -12, 7 – VPMS, 8 – V1, V2, V3, V4 – ventellar Mexanik forvakuum nasos – 1 yordamida dastlabki 10-2 - 10-3 Torr vakuum
hosil qilinadi. Seolit nasos – 2 yordamida 10-7 Torr vakuum hosil qilinadi.
Magnitorazryad nasos NMD – 2,5 – 3 yordamida 10-8 - 10-9 Torrgacha vakuum hosil qilinadi. V1, V2, V4, va V3 metalli ventellar mos ravishda mexanik, seolit va magnitorazryadli nasoslarni sistemaga bog’lash yoki uzish uchun xizmat qiladi.
Kerakli vakuum olingandan keyin V4 metalli ventel yordamida ishchi asboblar va ishchi qism nasoslar sistemasidan ajratiladi. Ishchi qismda SON – 1 A nasosi termoparali manometr, ionizasiyali manometr, IM – 12 monometri hamda qoldiq bosim tarkibini tahlil etuvchi MI – 1304 mass – spektrometrlari bo’ladi.
YUQORI VAKUUM OLISH.
Ishchi sistemada vakuum hosil qilish uchun V1, V2, V4, va V4 ventellar ochiladi va mexanik nasos yordamida 10-2 – 10 -3 Torr vakuum hosil qilinadi, bu vakuum LT-2 termoparali monometr yordamida o’lchanadi. Keyin esa V1 ventel yopiladi.
Sistemada vakuum hosil qilish seolit nasos yordamida amalga oshiriladi. Vakuum darajasi 10-5 – 10-6 Torrga yetganda V2 ventel berkitiladi va V3 ventel ochilib, sistemadan vakuum hosil qilish magnit – razryadli nasos NMD – 2,5 yordamida amalga oshiriladi. Natijada vakuum darajasi 5∙10-7 Torr ga yetkaziladi. Hosil bo’lgan vakuum LM – 2 ionizasion manometr yordamida o’lchab boriladi. Keyin esa V3 ventel yopilib, bir necha vaqt mabaynida qurilmaning nakal qismi, elektronlar manbasi, lampa turlari qizdiriladi. Vakuumni yaxshilash uchun, ishchi qism pechka yordamida T=350 0S temperaturada 10 soat mabaynida qizdiriladi. Bu davrda hosil
bo’lgan qoldiq gazlar oldin mexanik va seolit nasoslar yordamida keyin NMD – 2,5 yordamida so’riladi. Natijada ishchi qismda vakuum 10-8 Torrga yetadi. Ishchi qismdagi hamma qismlarni chegarasizlantirilgandan so’ng vakuum 2∙10-9 Torrga yetadi. Shundan so’ng V4 ventel yopiladi. Ishchi sistemada vakuum suyuq azot bilan sovitiluvchi SON - 1A getter – ion nasos yordamida 5∙10-10 Torr ga yetkaziladi.,osil qilingan vakuum esa IM - 12 ionizasion manometri bilan o’lchanadi.