Vakuum nasoslarining asosiy parametrlari quyidagilardan iborat: 1.Chegaraviy vakuum- bu nasos yordamida olish mumkin bo’lgan maksimal (vakuum) siyraklantirish hisoblanadi va bosim birliklarida o’lchanadi. Bunda vakuum hosil qilinadigan idish va uning qismlaridan chiqadigan gaz miqdori bilan so’rib tashlanadigan havo orasida muvozonat qaror topadi..
2. Nasosning so’rish tezligi – bu nasosning kirish trubkasi orqali birlik vaqtda ma’lum bosimda so’rib chiqariladigan havo(gaz) miqdori bilan aniqlanadi.
(1)
Bu erda Q- idishdan birlik vaqtda so’rib chiqariladigan havo miqdori,
Nasosning so’rish tezligi larda o’lchanadi.
Mexanik nasoslarning siyraklantiriladigan idishdan R1 bosimdan R2 bosimgacha gazni so’rib olish uchun sarflanadigan vaqt quyidagi ifodadan aniqlanadi.
(2)
Bu yerda V- idish hajmi. S- effektiv so’rish tezligi
Diffuzion nasoslarda ishchi modda sifatida simob qo’llaniladi. Keyinchalik diffuzion nasoslarda simob o’rniga organik moylar qo’llanila boshlandi. Yuqori va o’ta Yuqori vakuumlarni hosil qilishda diffuzion nasoslar bilan birgalikda sorbstion, magnitli gazo-razryadli va ionli sorbstion nasoslar ham qo’llanila boshlandi.
Yuqori vakuumlarda gaz molekulalari erkin yo’lining uzunligi bir necha metrga etadi.
Vakuumlarni o’lchash:
Vakum kattaligini o’lchash muhim muammolardan biri hisoblanadi. Past vva yuqori vakuumlarni o’lchash uchun oddiy U simopn manometrlardan tortib termoparali , magnitli-elektrorazryadli va …. Manometrlar kabi vacuum o’lchaydigan juda ko’p turdagi asboblar mavjud. Ko’pincha vakum o’lchaydigan qurilmalar vakummetrlar deyiladi
Odatda U — simon manometr millimetrning bir necha bo’laklariga teng simob ustunining bosimidan past bo’lmagan bosimlarni o’lchay oladi. Yanada pastroq bosimlarni o'lchash uchun MAK-LEOD manometri ishlatiladi. Manometrning D uchi bosimi ulchanadigan idishga ulanadi. Bu o’lchanadigan bosim P bo’lsin. U holda P bosimdagi gaz manometrining hamma kismlarini, shu jumladan E idishni to’ldiradi. Manometrning boshqa qismlari bilan rezinka nay vositasida tutashtirilgan A idish yuqoriga ko’tarilsa, simob ko’tariladi va E idish bilan V kapillyarning ichidagi bosim o’lchanayotgan idishdan ajratadi. So’ng simob yana yuqoriroq ko’tarilib V kapillyarda ma'lum bir joygacha boradi. Bu vaqtda V kapillyardagi simob ustida qolgan erkin hajm ∆U ga teng bo’lsin. E idish bilan kapillyarning umumiy V hajmini V orqali belgilasak, u holda R bosimdagi gaz P´= , bosimgacha siqilgan bo’lib qoladi. nisbat yetarli darajada katta
bo’lganda P' bosim dastlabki P bosimdan ko’p marta katta bo’ladi va u V va S kapillyardagi simob ustunlari balandliklarining farqi bo’yicha V o’lchanishi mumkin. P bosimni o’lchab va nisbatning son qiymatini bilgan holda o’lchanayotgfan P bosimning qiymatini topish mumkin Past vakuumlarni o’lchashga mo’ljallangan mexanik manometrlarning ishlash prinsipi bosim farqi natijasida egiluvchan elementlarning deformasiyasiga asoslangan. Termojuftli manometrlarnini ishlash prinsipi esa siyraklantirilgan gazning issiqlik o’tkazuvchanligi uning bosimiga bog’lanishiga asoslangan. Termoelektrik manometrlarga termo-juftli va qarshilikli manometrlar kiradi. LT-2 tipidagi termojuftli manometrning tuzilishi rasmda keltirilgan.
Vakuum darajasini, havosi so’rib olingan ishchi hajmning chiziqli o’lchami d bilan, gaz molekulalarining erkin yugurish yo’li λ lar orasidagi munosibat xarakterlaydi. Vakuum darajasining qoldiq gazlar bosimi birliklari bilan bog’lanishi 2-jadvalda berilgan. Gaz molekulalarining erkin yugurish yo’li λ gaz bosimiga teskari proporsional, ya’ni 1-jadval. Bosim birliklarining o’zaro bog’lanishi.
2-jadval. Vakuum darajalarining gaz bosim birliklari bilan bog’lanishi.
3-jadval. Molekulalar erkin yugurish yo’li λ ning bosim P ga bog’liqligi.