Mavzu: Qattiq jismlar fizikasi

Гидридланган аморф кремний (а - S i : Н )
70-йилларда (XX аср) аморф тузилишли кремнийдан амалий максадларда самарали фойдаланиш мумкинлиги исботлангандан кейин бу моддани xосил килиш ва унинг физиктехник хоссаларини урганиш буйича жадал тадкикотлар утказила бошлади. хозир бу йУналишда анчагина назарий ва амалий натижалар бор.
Муайян тагликда устирилаётган кремнии (50 пардасига (юпка цатламига) водород (Н) киритилса у усаётган пардадаги узилган кимёвий богланишлар сонини камайтириши мумкин. Бундай кремнийни гидридланган аморф кремний деиилади ва а-БкН шаклда белгиланади. Одатда а - бир неча усулда тайёрланади-милтиллама зарядсизланишда газларни парчалаш, ионлар киритиш ва катод пуркаш (чанглатиш) усуллари ишлаб чикилган.
Милтиллама зарядсизланиш усулини кдайлик. Бу усулда силан (&Н4) газини гелий (Не) ёки арсений (Ат) гаапари атмосфеоасида Н5 гази билан биргаликда парчалаш оркали а-^Н пардалари устирилади. К*ори такрорийликни милтиллама зарядсизланишда кузгатувчи индукгивлик галтаги ва зарядсизланиш камераси (б?лмаси) КУрилма асоси булади. Бундай такрорийлик орапиги 0,5-13,5 МГц, босим 0,1-2,0 мм.сим^ усгуни газнинг сарфи 0,2-5,0 см3/мин., устириш тезлиги 100 - 1000 айл/мин булади.
Тоза бир жинсли тузилиш xосил килиш учун икки электродли цурилмадан милтиллама зарядсизланиш или билан газларни парчаланади, бунда зарядсизланиш булмасида иккита параллел электрод жойлашган, у 13,5 МГц такрорийликда булади.
Узгармас ток зарядсизланишидан хам а — БкН олишда фойдаланиш мумкин. Агар таглик катод вазифасини бажарсо, у xолда устириш теалигини 0,1 дан 1,0 мкм/мин гача етказиш.
a-Si:H пардаларни анод тагликда хам устириш мумкин. Бу холда Устириш тезлиги катод таглик xолидагидан кичик булади, у билан газининг босимига токнинг катталигига ва тур электродининг xолатига боглик.
Тагликни к,издириш чегараси тахминан 600° с гача мУ^ки дейилсада, аммо айрим чолларда таглик температураси 200 - 400°С ораликда булганда парда нуксонли булиб колиши мумкинлиги хам кайд килинган, SiH4 нинг босими юкрри булганда милтиллама зарядсизланиш курилмаларида устирилган пардаларда турли радикаллар пайдо булади, ёки полимерланиш кузатилади.