Mavzu: Elektron Mikroskoplar

Kuchli Atom Mikroskoplar

Manbadan kantileverga tomonga lazer nurlari chiqariladi , kantilever elestik material bo’lib lazer nuri bosimini ostidan zont xarakatini boshqaradi qaytgan lazer nurlarni xolatiga qarab material xaqidagi ma’lumotlar olinadi. Kantilever odatda elestikligi yuqori bo’lgan silokondan yasaladi

Kuchli Atom Mikroskopning ishlash prinsipi quydagicha

Yana bir elektron Mikroskoplar oilasiga tegshli bo’lgan mikroskop bu Elipsometrlardi

Elipsometrlar- material yuzasi tuzulishini katta aniqlikdagi ma’lumotlar bilan taminlash uchun xizmat qiladi. Bu usulning afzaligi shundan iboratki materialni tekshirishda aloxida sharoit talab qilmaydi va yuza qatlamlarning nafaqat aktiv xolati xaqida balki dislokatsion soxalari g’ovak qismlar xaqida ham ma’lumotlar olish mumkin.

U quydagi ishlash pirinsipi quydagicha ko’rnishda bo’ladi.

Elipsometrlarni qo’l bilan boshqarish imkoni mavjud bo’lib. Qurulma ichdagi optik elementlarni ma’lum bir burchak asosida xarakatlantirish imkonini beradi . Ular Poliyazator (qutublovchi ) kopensator va analizatordan tashkil topgan. Poliyazator hamda Analizator sifatida Glan Pirizmalari ishlatiladi. Kopensator sifatida esa Kiristal kvars plastinkasi ishlatiladi. Uning ishlash pirinsipi qaytyotgan lazer nurlarining qatlam xolatiga qarab o’zgarishga asoslangan bunda Monoxramatik yorug’lik ma’lum bir nuqtada eliptik qutublanadi

Yorug’lik to’lqinlari fazalar chegarasidan qaytgan yoki singanda qutublanish xolati darxol o’zgaradi. Bu usulni birinchi marta 1887-yil P. Drude tomonidan taklif qilgan. Lekin 1944-yilga kelibgina A.Roten tomonidan fanga kiritilgan. “Elipsometriya” so’zi kiritilgan (azimut burchagi )

Zamonaviy Elipsometrlarning ko’rinishi.

Yana bir Elektron mikroskoplar oilasining vakili bu Rasterli Elekron Mikroskopdir

Rasterli Elektron Mikroskoplar bu ikkilamchi emmisiya xodisaga asoslangan. Uning ishlash pirinsipi quydagicha: obyekt sirtga yuqori energiyali elektronlar oqimi bilan tasir qilamiz bunda sirtda quydagi jarayonlar ro’y beradi.

1.Elektronlar oqimi 2.obyekt 3.Qaytgan elektron 4.Ikkilamchi elktron 5.Oje elektroni

6.Yutulga elektronlar toki 7. Sirtga kirgan elekton 8.Luminitesnt Katod oqimi 9. Rengen nurlari

Yutilgan tok oqimini quydagi zajitda ham ko’rishimiz mumkin. Elektronlar oqimi tushgandan so’ng Ampermetrdagi tokkuchni o’zgarish kuzatamiz.

Rasterli Elektronni boshqa mikroskoplardan farqi qulayligi qanday: Tekshirish soxasini chuqurligi, o’rganilayotgan obyektni Kattalashtirishi( masalan optik mikroskoplarda 2000 marta ,R.E.Mlarda esa 1000000 mart). Yani organilayotgan obyekt xaqida yuqori aniqlikdagi tasvirlarni olishimiz mumkin . Qolaversa R.E.M larda xam Oje usuli xam Elipsometrlarni ishlash pirinsiplari mavjudligidir

E’tiboringiz uchun raxmat

104-18-guruh talabasi Abdujalilov Abrorbek E.T.Mva E fani uchun