Mavzu: Eksimer lazerlari Eksimer lazeri tarixi


Lazer kamerasidagi impulsli gazorazryad ion-ion rekombinasiyasi hisobiga eksimer molekulalarini uyg’otadi



Download 283,21 Kb.
bet3/3
Sana25.03.2022
Hajmi283,21 Kb.
#509184
1   2   3
Bog'liq
eksimer lazer

Lazer kamerasidagi impulsli gazorazryad ion-ion rekombinasiyasi hisobiga eksimer molekulalarini uyg’otadi:

R^(+) (inert gaz ioni) +X^(-) (galogen ioni) +M (bufer gaz) → (RX)* eksimer molekulasi + M.

Gazorazryadda quyidagi reaksiya hisobiga ham molekulalar hosil bo’ladi:

R* (uyg’ongan inert gaz atomi) +X2 (galogen molekulasi)→(RX)* eksimer molekulasi +X (galogen atomi).

Bufer gaz sifatida geliy ishlatiladi. Lazer kamerasida uch xil gaz aralashmasi joylashadi. Kamerada 10 nanosekundli qisqa muddatli kuchli elektrorazryad sodir bo’ladi. Lazer kamerasidagi elektr razryadi lazer nuri yo’nalishiga perpendikulyar ravishda sodir bo’ladi. Kameradagi ishchi gazlarning bosimi bir atmosferadan yuqoridir. Yuqori bosimli lazer kamerasida bir jinsli gazorazryadni hosil qilish ancha qiyin. Shuning uchun avvalo gazlarni qisman kamera bo’ylab ionlashtirish zarur. Gazlarni qisman ionlashtirish asosiy elektrorazryaddan avval boshlanadi. O’shandan keyin tezda lazer kamerasi bo’ylab bir jinsli asosiy gazorazryad boshlanadi va kamerada bir jinsli, tekis inversion ko’chganlik hosil bo’ladi

  • Bufer gaz sifatida geliy ishlatiladi. Lazer kamerasida uch xil gaz aralashmasi joylashadi. Kamerada 10 nanosekundli qisqa muddatli kuchli elektrorazryad sodir bo’ladi. Lazer kamerasidagi elektr razryadi lazer nuri yo’nalishiga perpendikulyar ravishda sodir bo’ladi. Kameradagi ishchi gazlarning bosimi bir atmosferadan yuqoridir. Yuqori bosimli lazer kamerasida bir jinsli gazorazryadni hosil qilish ancha qiyin. Shuning uchun avvalo gazlarni qisman kamera bo’ylab ionlashtirish zarur. Gazlarni qisman ionlashtirish asosiy elektrorazryaddan avval boshlanadi. O’shandan keyin tezda lazer kamerasi bo’ylab bir jinsli asosiy gazorazryad boshlanadi va kamerada bir jinsli, tekis inversion ko’chganlik hosil bo’ladi

GIN-1 (impulsli kuchlanish generatori) lazer kamerasida asosiy gazorazryadni ta’minlaydi. GIN-2 lazer kamerasidagi gazlarni qisman ionlashtirishni ta’minlaydi. GIN-1 katta kuchlanishli, kichik sigimli, K-15-10 tipidagi 40-50kV li kondensatordan va R1 iskra razryadli yacheykadan tashkil topgan. GIN-2 ham shu tipda ishlab, quvvati GIN-1 ga nisbatan ancha kichikdir. Katta quvvatli GIN-1 yuqori kuchlanishli elektr manbaidan S1 kondensatorini zaryadlaydi. GIN-2 dagi S2 kondensator ham o’sha yuqori kuchlanishli elektr manbai yordamida zaryadlanadi. Avvalo GIN-2 ishga tushadi. GIN-2 ishga tushishi uchun tashqi generatordan impulsli signal kelib R2 uchqun gazorazryad yacheykasida razryad uyg’otadi va S2 kondensatordagi elektr energiyasi lazer kamerasiga uzatiladi. O’sha elektr energiyasi kamera uzunligi bo’ylab uchqunlar hosil qiladi va gazlarni qisman ionlashtiradi. Uchqunlar ultrabinafsha yorug’liklar manbaidir. Shu sababli gazlar qisman ionlashgan bo’ladi. O’sha uchqunlar uchishi bilan GIN-1 ishga tushiriladi va S1 dagi katta quvvatli elektr energiyasi asosiy elektrodlarga SL kondensator orqali uzatiladi. Xullas, asosiy elektrodlar oralig’ida lazer kamerasida impulsli gazorazryad boshlanadi. Gazorazryad davomida lazer 13 kamerasida elektr tokining o’sish tezligi 10A/s bo’lib, 5-10 nanosekund davom etadi. Generasiya vaqti 5ns, lazer impulsining chastotasi 1-50Gs, quvvati 20–25Mvtt – ni tashkil etadi. Eksimer lazerining foydali ish koeffisiyenti 1-10%gacha yetadi. Eksimer lazerlari hozirgi kunda 193-308nm to’lqin uzunligi oralig’ida kogerent va kuchli nurlarni hosil qiladi.

  • GIN-1 (impulsli kuchlanish generatori) lazer kamerasida asosiy gazorazryadni ta’minlaydi. GIN-2 lazer kamerasidagi gazlarni qisman ionlashtirishni ta’minlaydi. GIN-1 katta kuchlanishli, kichik sigimli, K-15-10 tipidagi 40-50kV li kondensatordan va R1 iskra razryadli yacheykadan tashkil topgan. GIN-2 ham shu tipda ishlab, quvvati GIN-1 ga nisbatan ancha kichikdir. Katta quvvatli GIN-1 yuqori kuchlanishli elektr manbaidan S1 kondensatorini zaryadlaydi. GIN-2 dagi S2 kondensator ham o’sha yuqori kuchlanishli elektr manbai yordamida zaryadlanadi. Avvalo GIN-2 ishga tushadi. GIN-2 ishga tushishi uchun tashqi generatordan impulsli signal kelib R2 uchqun gazorazryad yacheykasida razryad uyg’otadi va S2 kondensatordagi elektr energiyasi lazer kamerasiga uzatiladi. O’sha elektr energiyasi kamera uzunligi bo’ylab uchqunlar hosil qiladi va gazlarni qisman ionlashtiradi. Uchqunlar ultrabinafsha yorug’liklar manbaidir. Shu sababli gazlar qisman ionlashgan bo’ladi. O’sha uchqunlar uchishi bilan GIN-1 ishga tushiriladi va S1 dagi katta quvvatli elektr energiyasi asosiy elektrodlarga SL kondensator orqali uzatiladi. Xullas, asosiy elektrodlar oralig’ida lazer kamerasida impulsli gazorazryad boshlanadi. Gazorazryad davomida lazer 13 kamerasida elektr tokining o’sish tezligi 10A/s bo’lib, 5-10 nanosekund davom etadi. Generasiya vaqti 5ns, lazer impulsining chastotasi 1-50Gs, quvvati 20–25Mvtt – ni tashkil etadi. Eksimer lazerining foydali ish koeffisiyenti 1-10%gacha yetadi. Eksimer lazerlari hozirgi kunda 193-308nm to’lqin uzunligi oralig’ida kogerent va kuchli nurlarni hosil qiladi.

Qo’llanish sohalari:

  • Qo’llanish sohalari:
  • 1.Fotolitigrafiya(Mikroelektron chiplarni ishlab chiqarish). 2.Tibbiyotda: 1.Sterilizatsiya; 2.Ko’z jarrohligida. 3.Ilmiy tadqiqotlarda.


Download 283,21 Kb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   2   3




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish