Ion implantatsiyasi Maqola Gapiring

Tarkib
1 Magnetron zaryadsizlanishi
1.1 Kashfiyot tarixi
1.2 Jismoniy asoslar
2 Texnologiya asoslari
2.1 Maqsadli purkash
2.2 Metall va qotishmalarni purkash
2.3 Reaktiv püskürtme
3 Magratron
4 Shuningdek qarang
5 Eslatma
6 Adabiyot
magnetron zaryadsizlanishi
Magnetron razryad - bu kesishgan maydonlarda diodli gaz razryaddir (razryad hajmida elektr va magnit maydonlari bir-biriga ortogonal bo'lgan fazo hududi mavjud)
�
⊥
�
{\displaystyle \mathbf {B} \perp \mathbf {E}}; magnit maydonning kuch chiziqlari oqim chiziqlari bo'ylab yo'naltiriladi).

Kashfiyot tarixi
1898 yilda ingliz tadqiqotchisi Fillips eksenel magnit maydon yoqilganda, past bosim ostida shisha lampochkadagi novda elektrodlari orasidagi bo'shliq atrofida yuzaga keladigan halqali elektr razryadning ko'rinishini tasvirlab berdi. 1913 yilda prof. Strutt Phillips razryadni kesishgan maydonlardagi elektr razryad sifatida talqin qildi - eksenel magnit maydon va radial elektr. U radial elektr maydonini elektrodlar orasidagi bo'shliqqa qarama-qarshi bo'lgan lampochka devorida oldingi zaryadsizlanish paytida to'plangan musbat zaryaddan hosil qiladi va gazning ionlanishiga salbiy zarralar magnit maydon bo'ylab o'qdan magnit maydon bo'ylab uzoq davom etishi natijasida yuzaga keladi, deb taklif qildi. lampochka devori. Strutt novda elektrodlarining uchlari atrofida halqa shaklidagi anodni o'rnatdi va barqaror halqali razryadni oldi. Magnitron razryadni o'rganishga eng katta hissani golland fizigi F. M. Penning qo'shgan. Magnitron razryadlarining boshqa qo'llanilishi bilan bir qatorda (ion manbai, vakuum o'lchash datchigi, ion nasosi sifatida) u magnetron razryadni püskürtme va qoplash uchun foydalanishni taklif qildi [1].

Jismoniy asoslar
Elektron emissiya mexanizmi nuqtai nazaridan DC magnetronli razryad anomal porlash razryad hisoblanadi. Elektronlar ion bombardimoni ta'sirida ion-elektron emissiyasi tufayli katod sirtini tark etadi. Ion-elektron emissiya koeffitsienti juda kichik bo'lganligi sababli, katodga ion oqimi elektron oqimidan kamida kattalik tartibidan oshib ketadi. Plazmadagi zaryadlangan zarrachalarning muvozanati neytral gaz atomlarining qorong'u katod fazosida elektr maydoni tomonidan tezlashtirilgan elektronlar tomonidan ionlanishi bilan ta'minlanadi.