Ion implantatsiyasi Maqola Gapiring

Ion manbai
Ion implantatsiyasi nur chizig'ining barcha navlari funktsional komponentlarning umumiy guruhlarini o'z ichiga oladi (rasmga qarang). Ion nur chizig'ining birinchi asosiy segmenti ion turlarini yaratish uchun ishlatiladigan ion manbasini o'z ichiga oladi. Manba nur chizig'iga ionlarni olish uchun egilgan elektrodlar bilan chambarchas bog'langan va ko'pincha asosiy tezlatgich bo'limiga tashish uchun ma'lum bir ion turini tanlashning ba'zi vositalariga bog'langan.

"Massa" tanlovi (xuddi mass-spektrometrda bo'lgani kabi) ko'pincha ajratilgan ion nurining faqat ma'lum bir qiymatga ega bo'lgan ionlarga ruxsat beruvchi teshiklarni blokirovka qilish yoki "tirqishlar" bilan cheklangan chiqish yo'li bo'lgan magnit maydon hududidan o'tishi bilan birga keladi. nur chizig'ini davom ettirish uchun massa va tezlik / zaryadning mahsuloti. Agar maqsadli sirt ion nurining diametridan kattaroq bo'lsa va implantatsiya qilingan dozani maqsadli sirt bo'ylab bir xil taqsimlash kerak bo'lsa, u holda nurni skanerlash va gofret harakatining ba'zi kombinatsiyasi qo'llaniladi. Nihoyat, implantatsiya qilingan sirt implantatsiya qilingan ionlarning to'plangan zaryadini yig'ishning ba'zi usullari bilan birlashtiriladi, shunda yuborilgan dozani doimiy ravishda o'lchash va implantatsiya jarayoni kerakli doza darajasida to'xtatilishi mumkin.[2]

Yarimo'tkazgichli qurilmalar ishlab chiqarishda qo'llanilishi
Doping
Bor, fosfor yoki mishyak bilan yarimo'tkazgichlarni doping qilish ion implaning keng tarqalgan qo'llanilishidir.

magnetron device

магнетронное устройство
Magnetron purkash tizimi (magnetron)
Magnetron purkash - bu magnetron razryad plazmasida nishonning katodli püskürtülmesi yordamida substratga yupqa plyonkalarni joylashtirish texnologiyasi - kesishgan maydonlarda diodli razryad. Ushbu texnologiyani amalga oshirish uchun mo'ljallangan texnologik qurilmalar magnetronli püskürtme tizimlari yoki qisqacha aytganda, magnetronlar (vakuum magnetronlari bilan adashtirmaslik kerak - mikroto'lqinli tebranishlarni yaratish uchun mo'ljallangan qurilmalar) deb ataladi.