|
Magnitronning ishlash printsipi
To'qnashmaydigan elektron katod potentsialining tushishi (qorong'i katod bo'shlig'i) hududidan chiqmaguncha elektr maydoni tomonidan erkin tezlashtirilgan porlashdan farqli o'laroq, ko'ndalang magnit maydonning mavjudligi elektronning egilishiga olib keladi. Lorents kuchi ta'sirida traektoriya. Etarli magnit maydon bilan elektron deyarli nol energiya bilan katodga qaytadi va yana elektr maydoni ta'sirida tezlashtirilgan harakatni boshlaydi. Uning harakatining traektoriyasi sikloid bo'ladi, elektron katod yuzasi bo'ylab elektr va magnit maydonlariga perpendikulyar yo'nalishda siljiydi. Elektron faqat boshqa zarracha bilan to'qnashib ketishi mumkin bo'lgan "tuzoq"da. Keyin u katoddan biroz uzoqroqda joylashgan yangi traektoriyaga o'tadi va shunga o'xshash maydonlar zaiflashguncha, magnit tizim qutblaridan masofa tufayli magnit, plazma skriningi tufayli elektr. Qopqon mavjudligi sababli, chiqarilgan elektronlar tomonidan ionlanish samaradorligi ko'p marta oshadi, bu an'anaviy diodli razryaddan farqli o'laroq, yuqori ion oqimi zichligini va shuning uchun nisbatan past bosimlarda yuqori püskürtme tezligini olish imkonini beradi. tartibi 0,1 Pa va undan past. Tuzoqning samarali ishlashi uchun magnit maydon chiziqlari bo'ylab elektronlarning anodga oqib ketishini istisno qilish kerak va drift traektoriyalari yopiq bo'lishi kerak.
Texnologiya asoslari
Magnitronli chayqalishning texnologik ahamiyati shundaki, katod (nishon) yuzasini bombardimon qiluvchi ionlar uni sochadi. Magnetron bilan kesish texnologiyalari ushbu effektga asoslanadi va substratda yotqizilgan purkalgan maqsadli modda zich plyonka hosil qilishi mumkinligi sababli, magnetronli püskürtme eng keng qo'llanilgan.
Maqsadli chayqalish
Asosiy maqola: Ionlarning sochilishi
Ionlar maqsadli sirt bilan to'qnashganda, impuls materialga o'tkaziladi
Magnetron purkash zavodlari
Magnetronlarning xarakterli xususiyati maxsus magnit tizimdan foydalanish bo'lib, u purkalgan nishon ustidagi kontur bo'ylab yopiq tunnelga o'xshash magnit maydon hosil qiladi. Uning yordamida mahalliylashtirilgan yuqori zichlikdagi plazma va shunga mos ravishda nishonga sochilgan yuqori zichlikdagi ion oqimlarini olish uchun sharoitlar yaratiladi. Buning natijasi materialning yuqori atomizatsiya ko'rsatkichidir.
Katalog turi:
Atis 500 ni dastlabki ion-nurli tozalash bilan vakuumli magnetronli purkash moslamasi
Ikki tomonlama ariza
Dastlabki ion-nurli tozalash
23 ta substratni bir vaqtning o'zida qayta ishlash
Substrat o'lchami 60x48 mm
Kriopanel va turbomolekulyar nasos
Yopiq suv sovutish tizimi
Narxini bilib oling
XUSUSIYATLARI
Atis - V ni dastlabki ion-nurli tozalash bilan magnetronli püskürtme uchun vakuumli o'rnatish
Ikki tomonlama ariza
Dastlabki ion-nurli tozalash
Substratlarni 400 ° S gacha isitish
65 ta substratni bir vaqtning o'zida qayta ishlash
Substrat o'lchami 60x48 mm
Kriopanel va turbomolekulyar nasos
Yopiq suv sovutish tizimi
Narxini bilib oling
XUSUSIYATLARI
Aspira 150 yuqori qat'iy aniqlikdagi qoplamalarni qo'llash uchun vakuumli cho'kma qurilmasi
6 tagacha maqsadli materiallar
Ion-nurli va magnetronli püskürtme kombinatsiyasi
Ion nurlarini tozalash
shlyuzni yuklash
O'rnatilgan optik tekshiruv qisman
Spray zonasi 150 mm
Narx so'rovi
XUSUSIYATLARI
Aspira 200 ixcham vakuumli blokirovkasi murakkab nozik optik qoplamalarni kichik hajmda ishlab chiqarish uchun.
Maks. dastur maydoni hajmi Ø200 mm
Maks. substrat balandligi 30 mm gacha
Materialni yotqizishning tartibsizligi 0,1% gacha
"Uzatish uchun" optik boshqaruv
shlyuzni yuklash
To'liq avtomatlashtirish
Narx so'rovi
XUSUSIYATLARI
Velox dekorativ metall qatlamlarini cho'ktirish uchun vakuumli magnetronli purkash moslamasi
Maksimal o'lcham h130 x d235 mm
50-100 s aylanish vaqtini ta'minlash uchun mo'ljallangan uskunalar
Ikki DC magnetron
Kichik o'rindiq, oson ishlash, moslashuvchanlik
Tez dastur aylanishi
Quvur liniyasi bilan sinxronizatsiya
Asosiy bo'yash (primer), metalllashtirish va yakuniy püskürtme operatsiyalari o'rtasidagi kechikishni bartaraf etish
Mijozlarning standart egalaridan foydalanish
Narxini bilib oling
XUSUSIYATLARI
Vakuumli purkagichni universal ixcham o'rnatish Elato-Sh
Kameralar orasidagi yuqori vakuumli panjur
Aylanish tizimi bilan havo qulfi
"Quruq" mexanik nasos
Avtomatik rejimda kameralarni chiqarish
Narx so'rovi
XUSUSIYATLARI
Elektron nurlar yoki termal bug'lanish, magnetronli püskürtme Elato 350 usuli bilan qoplamalarni qo'llash uchun vakuumli o'rnatish
Turli texnologik qurilmalar va substrat ushlagichlardan foydalanish imkoniyati
Ham tadqiqot, ham pilot, kichik ishlab chiqarish uchun sozlanishi
Qimmatbaho metallarni cho'ktirish uchun ideal uskuna
Toza xonaga joylashtirish imkoniyati
Gateway (variant)
Narxini bilib oling
XUSUSIYATLARI
Elektron nurlar yoki termal bug'lanish, magnetronli püskürtme Elato 600 usuli bilan qoplamalarni qo'llash uchun vakuumli o'rnatish
Turli texnologik qurilmalar va substrat ushlagichlardan foydalanish imkoniyati
Ham tadqiqot, ham pilot, kichik ishlab chiqarish uchun sozlanishi
Qimmatbaho metallarni cho'ktirish uchun ideal uskuna
Toza xonaga joylashtirish imkoniyati
Gateway (variant)
Narxini bilib oling
XUSUSIYATLARI
DC magnetron - bu mahsulotlarga o'tkazuvchan qoplamalarni qo'llash uchun to'g'ridan-to'g'ri oqim (DC) energiya manbasidan foydalangan holda vakuumda materiallarni katodli püskürtme uchun qurilmaning zamonaviy versiyasi. Uning ishlash printsipi qo'llaniladigan salbiy potentsial ta'sirida maqsadli sirtni bombardimon qiladigan ishchi gazning tezlashtirilgan ionlari tomonidan katodning (maqsadli materialning) jismoniy chayqalishi fenomeniga asoslanadi.
Magnetron qurilmalarini qurishning konstruktiv tamoyillari katta formatli sirtlarga bir xil qoplamalarni qo'llash vazifasini oddiygina amalga oshirishga imkon beradi. Bu xususiyat me'moriy oynalar, displeylar, quyosh batareyalari, plastmassa va rulonli materiallarni bezash uchun zamonaviy qoplamalar ishlab chiqarishda sezilarli yutuqlarni ta'minlashga imkon berdi.
Asosan, DC magnetronlari inert gazlar yordamida metallarni purkash uchun ishlatiladi.
AC magnetron reaktiv muhitda o'tkazuvchan materiallarni purkash orqali dielektrik qoplamalarni (oksidlar, nitridlar, karbidlar va boshqalar) qo'llash uchun yuqori samarali jarayonlarni amalga oshirish uchun mo'ljallangan.
Magnetronda reaktiv jarayonlarni o'tkazish ikkita xususiyatga ega: 1 - maqsadli sirtda kompozit plyonka hosil bo'lishi va o'sishi, 2 - anod elektrodida bir xil plyonkaning cho'kishi. Dielektriklarni qo'llashda o'sib borayotgan qoplama plazma tushirish pallasida elektron oqimlarining harakatini bloklaydi, vaqt o'tishi bilan beqaror bo'ladi va oxir-oqibat to'xtaydi. Bundan tashqari, maqsadda o'sib borayotgan yupqa dielektrik plyonkalar yuzasida zaryad to'planishi tufayli tez-tez mikroskopiyani boshdan kechiradi.
formation of nanomaterials on semiconductor compounds
VAKUUM HOSIL QILISH
Do'stlaringiz bilan baham: |
