I. Kirish va adabiyotlar tahlili 3 II asosiy qism 7

Diffuziya.

Odatda p-n o‗tish olish uchun diffuziya ishlatiladi, yana ionlar bilan bombardirovka (ionlar bilan legirlash) usuli ham qo‗llaniladi. Quyidagi 11- rasmda p-n o‗tish olish uchun ishlatiladigan pech konstruktiv sxemasi keltirilgan.

10. 
    rasm.
    

Bu rasmda: 1- termojuftlik; 2- kremniy karbidli kamera; 3- nixromli isitish spirali; 4- sochish qurilmasi; 5- quruq O_2; 6- modda solingan qayiqcha; 7- plastinali qayiqcha; 8- diffuziya zonasi; 9- manba zonasi.

Kremniy karbidli kvars kamerasida plastinalar joylashgan qayiqcha orqali quruq kislorod o‗tkaziladi. Past temperaturali zonadan fosfor shu kislorol muhitida etkaziladi. Plastinalar temperaturasi termojuftlik yordamida o‗rnatilgandan keyin past temperaturali zonaga fosfor dioksidi ( R₂O₅ ) kiritiladi. Bu fosfor dioksidi 220^oS gacha qizdirib tutatiladi va kislorod muhitida yuqori temperaturali zonaga yo‗naltiriladi, bu zonada diffuziya sodir etiladi. Diffuziya amaliyoti o‗tkazilgandan keyin fosfor etkazib berish to‗xtatiladi. Plastinalar asta- sekin sovutiladi. Adabiyotlarda ko‗rsatilishicha, diffuziya parametrlariga kislorod muhiti gazi harakati tezligi, kislorodni to‗xtatish surati, hatto bu gazning oqish xarakteri ham ta‘sir ko‗rsatar ekan.

p-n o‗tishning qalinligi diffuziya davom etadigan vaqtga, temperaturaga ( diffuziya koeffitsienti qanday temperaturada diffuziya o‗tkazilayotganiga bog‗liq) bog‗liq bo‗ladi.

p-n o‗tish qalinligini tajribaviy yo‗l bilan qatlamlarni ketma-ket ochib (stravlivanie), solishtirma qarshilik va Xoll effekti doimiysini har bir bosqichda o‗lchash orqali amalga oshiriladi.

Diffuziya qilishning yana bir usuli – ion bombardirovkasidir. Usul qurilmasi mass-spektrografga o‗xshash bo‗ladi. Qurilma gazorazryadli ion manbasidan, elektrostatik fokuslash tizimidan, magnitdan va p-n o‗tish hosil qilinadigan dastgakdan iborat bo‗lib, unda ionlar massalari bo‗yicha ajratiladi. Qurilmada 10^-6 mm sim. ust. va undan past vakuum ushlab turiladi , bu vaqtda ionlar chiquvchi manba bosimi 10^-2 – 10^-3 mm sim. ust. bo‗ladi .

Ionlar bilan legirlash usulining afzalliklari - diffuziya kattaliklarini va p-n o‗tish chuqurligini aniq kontrol qilish, muhitning tozaligidir.