Ўзбекистон республикаси олий ва ўрта махсус таълим вазирлиги ўзбекистон республикаси қурилиш вазирлиги

Исследование поверхности стекол методом Ожеспектроскопии. 
Н. Холдоров, И. Турдибеков. (СамГАСИ) 
 
В последнее десятилетие поверхность твердого тела (ПТТ) 
превратилась в один из важнейших объектов физических преследований. 
Дальнейшее развитие таких областей науки и техники как тонкопленочная 
микроэлектроника, гетерогенный катализ, материаловедение и целого ряда 
направлений оптики невозможно без тщательного изучении ПТТ.

---

232 
Применяемых 
для 
исследования 
ПТТ 
видов 
электронной
спектроскопии ЭОС является наиболее разработанным и широко 
распространенным. Количество публикаций, посвященных ЭОС давно много 
наименований 
Этот метод, описанный в нескольких монографиях и 
обзорах.
Метод ЭОС состоит в измерении энергии и количества Оже – 
электронов, возникающих при бомбардировке поверхности твердых тел 
пучком электронов. В основе метода ЭОС лежит Оже – процесс, который 
заключается в возбуждении атома первичным электроном и после дующей 
релаксацией возбуждения путем эмиссии вторичного электрона. Последний 
называется Оже – электроном.
Любая интерпретация результатов полученных методом ЭОС 
начинается с идентификации (отнесения) линий спектра, то есть 
установления какому элементу соответствует данная линия. Существующие 
каталоги Оже – линий охватывают практически все элементы таблицы 
Менделеева (за исключением водорода и гелия) и некоторые их соединения. 
Однако, существуют два обстоятельства осложняющие качественный анализ: 
1 - “химический” сдвиг линий Оже – cпектра, то есть энергетическое 
смещение линий элемента присуствующего в матрице не в чистом виде, а в 
какой – либо иной форме (например, в форме окисла), 2 – перекрывание 
(наложение) линий одного элемента с обертоном друуого. Первое из 
указанных обстоятельств в полной мере проявляется в стеклообразных 
материалах. Отметим, что знание “химического” сдвига , соответствкющего 
переходу элемента в окисленную форому, превращает его из фактора 
осложнящего анализ – в фактор облегчающий расшифровку строения 
исследуемого материала. 
В связи с этим ,для верного отнесения линий в многокомпонентных 
промыщленных и оптических стеклах и более сложных (комбинированных) 
объектах, нами была провендена предварительная работа качественному 
анализу 
ряда 
эталонных 
стекол 
простого 
состава. 
Одновременно 
иследовалось влияние электронного и ионного пучковна интенсивность 
линий Оже – спектров с целью выявления оптимальных режимов работы 
аппаратуры и учета возможны артефактов , о которых
. В 
каждом случае особое внимание уделялось углероду – как элементу 
присуствующему на поверхности любого исследуемого обьекта. 
Исследовался многокомпонентные оптические стекла элементный 
состав и концентрационный профиль основных компонентов стекла МОС – 
12, содержащего (мол%): SiO
2
– 60,3; Тв
2
О
5
– 6,9 ; В
2
О
3
– 9,9; Na
2
O – 22,2,а 
также небольшие количества окислов церия и слова. Цель работы состояла 
выявлении причин аномально низкого (существенно меньше объемного) 
значения показателя преломления поверхности (по данным эллипсометрии) 
этого стекла
На рис.1 представлены Ож – спектры исходной (1) поверхности МОС 
– 13 и после 2 – х часового распыления (2). В исходном состоянии
зарегистрированы линии кремния, бора углевода и кислорода. После 

---

233 
распыления идентифицированы линии: Si(61,76эВ), Т
в
(110,128,144эВ), 
В(164,173эВ) 
имплантированного 
Аr(211эВ), 
О(505эВ). 
Линии 
Nа 
зарегистрированы не были. Вид спектра качественно не изменялся в течении 
всего времени распыления. 
При сопоставлении спектров боратных стекол с данным рис. 1 – 2 
можно убедится, что основная полоса Т
в
(144эВ) налагается на один из 
низкоэнергетических 
саттелитов 
основной 
полосы 
бора 
Оценка 
относительных интенсивностей линий основной полосы бора. Оценка 
относительных интенсивностей линий 44/
ℐ
164 в стекле МОС – 13, а 
также 
ℐ
164/
ℐ
144 в боратных стеклах позволила установить, что вклад низко 
энергетического саттелита бора в основную полосу тербия не превышает 4 – 
6%. С учетом этой погресности линия 144 эВ рассматривалась как основная 
полоса тербия.