Kremniyga ishlov berish uslublari.
Talab qilinadigan mikrostrukturalarni
olish uchun kremniy taglikka qoplanadigan qatlamlarni shakllantirish va taglikning
o‘ziga shakl berish uslublari mavjud (kremniyga hajmli ishlov berish). Shuningdek
yupqa plenkalarni qoplash va shakllantirishning kremniy taglikning yuzasida
etarlicha murakkab strukturalarni tayyorlash imkonini beradigan texnologiyalar
ham ishlab chiqilgan (kremniyga yuzali ishlov berish). Bu texnologiyalarni
takomillashtirish uchun ularga elektrokimyoviy eritish uslublari kiritiladi.
Tagliklarni tutashtirishning yangi uslublari esa ko‘p qatlamli strukturalarni
tayyorlash imkonini beradi.
Do'stlaringiz bilan baham: |