Химическая и электрохимическая обработка поверхности полупроводников

Кинетика процесса химического травления. 
В основном процесс травления можно представить в виде пяти стадий: 
I. Перенос молекул (или ионов) травителя из объема раствора к поверхности 
п/п-ка. В начальный момент после погружения пластины п/п-ка в раствор вблизи ее 
поверхности за счет интеживной реакции образуется слой б, обьедненный 
молекулами травителя, что приводит к возникновению градиента конц-ции травителя 
grad
x
N и формированию диффузионного потока J
x
этих молекул к поверхности п/п-ка. 
Такой поток существует до установления равновесия, время наступления которого 
зависит от 
-коэф-та диффузии компонентов травителя в растворе 
-его вязкость 
- темп-ры и некоторых других факторов 
По истечении этого времени конц-ция молекул травителя в объеме N
0
и у поверхности 
п/пк-а N
S
выравниваются: N
S
=N
0
2.Адсорбция молекул травителя на поверхности п/п-ка. В стадии адсорбции 
молекулы травителя вступают в контакт с поверхностью п/п-ка. Этот контакт может 
быть либо химической адсорбцией (хемосорбцией) либо физической адсорбцией. 
В первом случае между молекулами травителя и поверхностью п/п-ка 
существуют силы кулоновского притяжения или обменного взаимодействия 
(ковалентной связи). Во втором случае молекулы травителя удерживаются на 
поверхности слабыми силами Ван-Дер-Вальса. 
Соответственно энергия активации адсорбции при хемосорбции оказывается 
существенно выше, чем при физической адсорбции. 
3.Кинетическая стадия процесса. 
Это собственно химическое взаимодействия адсорбированных молекул травителя с 
п/п-ком происходит разрыв химических связей между атомами расположенными в 
объеме, и поверхностными атомами п/п-ка и удаления поверхностных атомов в 
растворе. 
4.Десорбция продуктов реакции с поверхности п/п-ка. Входе кинетической 

---

стадии на поверхности п/п-ка накапливаются продукты реакции, которые могут быть 
химическим или физическим связаны с поверхностью. Прежде чем перевести их в 
раствор, необходимо разорвать эти связи, в чем и состоит сущность десорбционной 
стадии. 
5.Удаление продуктов реакции с поверхности п/п-ка в объем раствора. 
За счет химического взаимодействия п/п-ка с травителем на расстоянии б 
накапливаются продукты взаимодействия – 
'
0
N
. На границе раздела п/п-раствор (х=0) 
конц-ция продуктов взаимодействия –
'
s
N
. 
'
'
0
s
N
N

: Градиент кон-ции продуктов травления в растворе grad
x
N
’
является 
причиной возникновения диффузионного потока молекул этих продуктов 
'
x
J
, 
направленного от поверхности п/п-ка в объем раствора. Скорость процесса травления 
есть суммарнарная скорость этих 5 процессов травления: 
Сорбционные стадии (2 и 4) процесса редко ограничивают скорость травления: 
В большинстве случаев скорость процесса травления ограничиваются в растворе либо 
скорость: компонентов травления (I) или продуктов реакции (5) в растворе, либо 
скоростью поверхностной химической реакции (З). В зависимости от того, какая 
стадия процесса, диффузионная (1,5) или кинетическая (3), протекает наиболее 
медленно, и сам характер, и результаты процесса травления оказывается различными. 
Если наиболее медленно протекают диффузионные процессы, скорость процесса 
диффузии: 
)
(
0
s
d
d
E
N
N
A
V
V



(1) Ad- коэффициент пропорциональности. N
0
, N
s
-
конц-ция молекул травителя в объеме и вблизи поверхности п/п- ка на границе с 
раствором. 
Как видно (I), скорость процесса травления никак не связаны со своими поверх-
ности п/п-ка (в частности, с энергетическим барьером реакции) и, следовательно, 
травления в этом случае должно происходить изозотропно, независимо от 
кристаллографического направления. 
"Травители, характеризующиеся диффузионнами контролем скорости 
травления, называются полирующими, а сам процесс травления - интегральными". 
Полирующие свойства травителя улучшаются при увеличении его вязкости за 
а) б) 
а)-Градиент концентрации травителя вблизи впадин и выступов кремниевой поверхности 
б)- Получение V-образных областей при локальном анизотропном травлении кремния 

---

счет добавки гликолей, глицерина, полиспиртов: уменьшение темп-ры раствора также 
приводит к большому выравниванию процесса за счет снижения скоростей диффузии 
компоненте травителя. 
Интенсивное перемешивание раствора, наоборот разрушает диффузионный 
слой у поверхности п/п-ковой пластины и, таким образом снимая диффузионное 
ограничения, ухудшает полирующие свойства травителя.
Рассмотрим случай, когда диффузионные процессы протекают настолько 
быстро, что не могут практически оказать влияния на суммарную скорость процесса 
травления. Здесь естественно предположить контроль процесса травления за счет 
кинетической стадии (3), скорость который 



 


