Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani



Download 16,58 Mb.
Pdf ko'rish
bet382/570
Sana16.06.2022
Hajmi16,58 Mb.
#677720
1   ...   378   379   380   381   382   383   384   385   ...   570
Bog'liq
ТГТУ II-межд конф Хайдаров Элтазаров Эргашев Абдукаримов Курбонов Турсунов Гаибназаров Курбонов Алимова

I, 
 m
A/sm
2
U, B
Рис.5. ВАХ (а) и фотография свечения (б) 
n
/Si – 
р

алмаз
-гетероструктуры, 
полученной на подложке с ориентацией (111). Снимок сделан с помощью 
электронной цифровой фотокамеры «Coolpix» E3200 фирмы Nikon

Япония
.


Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
433 
По-видимому, между кремниевой подложкой и алмазной пленкой 
расположен слой 15R-SiC, образованный в процессе роста в результате 
сцепления атомов углерода (С) с атомами Si
2
с оборванными связями, 
расположенными на поверхности Si-подложки. Из-за того, что подложка 
имеет проводимость 
n
-типа, а алмазная пленка 
р
-типа, этот слой будет 
высокоомным в результате перекомпенсации разнотипных носителей заряда 
на границе. Этот слой, по-видимому, состоит всего из несколько атомных 
слоев, так как при покрытии открытой поверхности подложки слоем SiC, 
атомы углерода дальше не могут проникнуть внутрь к подложке, и 
дальнейшее образование SiC прекратится. При подаче обратного смещения к 
n
/Si – 
р

алмаз
-гетероструктуре происходит генерация экситонов в этом слое и 
в прилежащем к нему слое алмаза. В результате аннигиляции 
(рекомбинации) которых происходит белое свечение структуры, так как 
алмаз излучает сине-фиолетовое свечение (в результате рекомбинации 
экситонов через дефекты кристаллической решетки алмаза), а 15R-SiC – 
желтое, которые при смешивании образуют белый свет.
Таким образом, показано, что в зависимости от температуры подложки 
получаются три типа алмазных пленок. Качественные пленки получаются 
при температурах подложки 820-850

С, соответствующей температуре 
накала 2100-2200

С. При этом общий поток газовой смеси (СН
3
ОН + Н
2

составлял 50-60 см
3
/мин, давление газа в реакторе 15 Тоrr и температура 
метила (СН
3
ОН) в барботёре 33-35

С. Выявлено, что пленки алмаза, 
полученные при таких условиях имеют поликристаллическую структуру с 
размерами зерен 1-3 мкм, проводимость 
р
-типа с концентрацией носителей 
тока 2

10
18 
см
-3
и подвижностью электронов 130-160 см
2


сек. Все это 
говорит о достаточно высоком совершенстве полученных пленок и 
пригодности их для создания полупроводниковых приборов. Кроме того, 
показано, что при подаче обратного смещения происходит белое свечение 
n
/Si – 
р

алмаз
-гетероструктуры.
Работа 
выполнена 
в 
рамках 
тематики 
лаборатории 
«Рост 
полупроводниковых кристаллов»: «Фотовольтаические, термовольтаические, 
фототермовольтаические 
и 
излучательные 
эффекты 
в 
двух 
и 
многокомпонентных 
полупроводниковых 
твердых 
растворах 
с 
нанокристаллами, полученных на кремниевых подложках из жидкой фазы», 
входящей в базовую программу научно-исследовательских работ Физико-
технического института АН РУз (на 2020-2024 г.г.).
В заключении хочу выразить свои благодарности д.ф.-м.н., профессору 
Саидову Амину Сафарбаевичу за идейное руководство и обсуждение 
экспериментальных результатов
.

Download 16,58 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   378   379   380   381   382   383   384   385   ...   570




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish