Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
356 
легированных образцах наблюдаются кластеры атомов никеля. С 
увеличением температуры диффузии плотность кластеров увеличивается, а 
их размер уменьшается. Установлено, что основными параметрами кластеров 
никеля можно управлять в широком интервале изменяя условия 
дополнительного отжига. Дополнительная термообработка при температурах 
T
= 600−1000

C приводит к существенным изменениям. В зависимости от 
времени отжига наблюдается не только укрупнение размера кластеров, но и 
начинается их упорядочение, т.е. они собираются в определенных 
направлениях и образуют цепочки.
Исследование состояния и распределения кластеров в образцах, после
поэтапной шлифовки по 50 мкм до средины толщины образцов показало, что 
кластеры распределены равномерно по всему объему образца. На рисунке 1 
представлено фото кластеров никеля и их состояние в кристаллической 
решетке кремния. В некоторых образцах появляются кластерные петли в 
различных кристаллографических направлениях (рисунок 2).
Сравнение динамики формирования и состояния кластеров примесных 
атомов Ni в образцах, легированных как в откаченных ампулах, так и на 
воздухе, показали, что существенные различия практически отсутствуют, т.е. 
можно легировать никелем кремниевые пластины различного диаметра. Это 
дает полное основание утверждать, что управляя температурой диффузии, 
скоростью охлаждения, временем и температурой последующего 
дополнительного 
низкотемпературного 
отжига, 
можно 
управлять 
плотностью, размером и распределением кластеров примесных атомов 
никеля.
Рисунок 1. Упорядочение 
кластеров никеля в кремнии. 
Рисунок 2. Петли, 
состоящие из кластеров никеля. 
Элементный 
состав 
кластеров 
исследовался 
микрозондовым 
анализатором Jeol-8800R. При этом установлено, что кластеры содержат в 
основном атомы кремния (97-98 %) и никеля (2-2,5%), а также очень малое 
количество кислорода, т.е. полученные кластеры можно рассматривать как 
твердый раствор Si
1-x
Ni
x
. Поэтому представляет интерес исследование 
вольтамперной характеристики структуры кластер атомов Ni-кремний. 

---