Физика-техника институти, ион-плазма ва лазер технологиялари институти, самарқанд давлат

Апробация результатов исследования. Основные результаты 
диссертационной работы доложены и обсуждены на 10 международных и
8 республиканских научно-практических конференциях.
Публикации результатов исследования. По теме диссертации 
опубликовано 33 научных трудов, из них 9 статей в журналах, 
рекомендованных 
Высшей 
аттестационной 
комиссией 
Республики 
Узбекистан 
для 
публикации 
основных 
научных 
результатов 
диссертационных работ.
Структура и объём диссертации. Диссертация состоит из введения, 
четырех глав, заключения,
списка использованной литературы и приложения. 
Текст диссертации изложен на 128 страницах, включая 37 рисунков,
3 таблицы. 

---

28 
ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ 
Во введении обоснована актуальность темы диссертационной работы, 
изложены цель и задачи, показаны научная новизна, практическая 
значимость работы и представлены основные положения, выносимые на 
защиту. 
В первой главе «Анализ особенностей процессов дефектообразова-
ния в кремнии и кремниевых структурах» приведены результаты работ
по исследованию электрофизических свойств кремния с примесями 
тугоплавких и редкоземельных элементов. Проведен анализ свойств кремния, 
легированного тугоплавкими элементами, как в процессе выращивания, так и 
диффузионным методом. Рассмотрено влияние технологических примесей- 
кислорода и углерода на свойства кремния, легированного тугоплавкими 
элементами. Проанализированы данные по влиянию термообработки и 
облучения на электрофизические свойства кремния с примесями ТПЭ и 
редкоземельных элементов (РЗЭ), а также по исследованию образования 
структурных дефектов в кремнии с различным содержанием кислорода. 
Приведен анализ работ по изучению поведения различных дефектов в 
кремниевых структурах типа металл-диэлектрик-полупроводник и диодов 
Шоттки, также описаны особенности емкостной спектроскопии дефектов 
в полупроводниках и полупроводниковых структурах. Рассмотрены емкость 
p-n- перехода и перезарядка ГУ с изменением температуры и изложена 
сущность метода DLTS при постоянной емкости (СС-DLTS), которая 
заключается в измерении температурной зависимости разности напряжения 
на структуре в моменты времени t
1 
и t
2
после окончания импульса заполнения 
с амплитудой U
f 
и длительностью t
f
.
Описана методика измерения спектров ИК-поглощения для
определения концентрации кислорода и углерода в кремнии с помощью 
инфракрасного спектрофотометра SPECORD - 72IR, работающего в 
двухлучевой схеме в ИК- области спектра от 1200 до 400 см
-1
.
В конце главы подробно описываются технологии проведения 
термических обработок и изготовления диодных структур. Детально 
изложены особенности технологии легирования кремния примесями 
тугоплавких элементов Hf, Ti и Zr.
Вторая глава «Эффекты влияния примесей подгруппы титана на