B. A. Nazarbayeva

 

Interferometrik  datchiklar. 

Haroratni  optik  o‘lchashning  boshqa  bir  uslubi 

ikkita yorug‘lik nurlarining interferensiyasi oqibatida vujudga keladigan yorug‘lik 

intensivligini modulyasiyalashdan iborat. Nurlardan biri etalon bo‘lib hisoblanadi, 

boshqasi  esa  uning  parametrlari  haroratga  bog‘liq  bo‘ladigan  muhit  orqali 

o‘tkaziladi,  bu  signallar  o‘rtasida  faza  siljishining  paydo  bo‘lishini  chaqiradi.  Bu 

---

284 

 

faza siljishining kattaligi, va demak, interferension signalning parametrlari harorat 

bilan  belgilanadi.  Interferometrik  harorat  datchigining  sezgir  elementi  sifatida 

ko‘pincha  yupqa  kremniy  qatlamidan  foydalaniladi,  chunki  uning  sindirish 

koeffitsiyenti haroratga bog‘liq bo‘ladi, bu nur yo‘lining uzunligining o‘zgarishiga 

olib keladi.  

5.16-  rasmda  yupqa  plenkali  optik  datchikning  sxemasi  ko‘rsatilgan,  u 

o‘zakning  diametri  100  mkm,  qoplamaning  diametri  140  mkm  bo‘lgan,  sindirish 

ko‘rsatkichi  bosqichma-bosqich  o‘zgaradigan  ko‘p  modali  optik  tolali 

volnovodning  uchlariga  surkalgan  uch  qavat  plenkadan  tashkil  topadi.  Birinchi 

qatlam kremniydan, ikkinchisi kremniy dioksididan shakllantiriladi. FeCrAl plenka 

pastda  yotuvchi  qatlamlarni  oksidlanishdan  himoyalash  uchun  eng  oxirida 

qoplanadi.  Bunday  optik tolalardan  350

  gacha bo‘lgan  haroratlarda  foydalanish 

mumkin.  Biroq  oltin  bilan  qoplangan  volnovodlardan  foydalanilganda  ishchi 

diapazon  650

  gacha  ortadi.  Bu  erda  nurlanish  manbalari  sifatida  860  nm 

nurlanish  to‘lqini  uzunligiga  ega  bo‘lgan  diodlardan  foydalaniladi,  natijalovchi 

signalni tahlil qilish esa spektrometr yordamida o‘tkaziladi.