B. A. Nazarbayeva

Nano-texnologiyalar. 

Nano-texnologiyalar  to‘g‘risida  gapirganda  uning 

o‘lchamlarini  nanometr  bilan  (10

-9

)  taqqoslash  mumkin  bo‘ladigan  qurilmalar 

xususida gap boradi. Amaliyotda esa juda mitti elementlarning aksariyati minglab 

marta katta – mikron atrofida (10

-6

 m) o‘lchamga ega bo‘ladi. Biroq texnologiyalar 

rivojlanib  borishi  bilan  bu  o‘lchamlar  kichrayish  tendensiyasiga  ega  bo‘lib 

bormoqda.  

Hozirgi  kunda 

mikrotizimli  texnologiyalar

  shiddat  bilan  rivojlanmoqda,  ular 

mikroelektromexanik

  tizimlarni  (MEMT)  va 

mikroelektrooptomexanik

  tizimlarni 

(MEOMT)  yaratish  imkonini  beradi.  MEMT  qurilmalar  o‘zining  tarkibida  elektr 

va  mexanik  tarkibiy  qismlarni  birlashtiradi.  Bu  ularning  strukturasiga  hech 

bo‘lmaganda  bitta  qo‘zg‘aluvchan  yoki  deformatsiyalanadigan  qism  va  albatta 

elektr sxemasi kirishini bildiradi. MEOMT nomidan esa uning elementlaridan biri 

optik tarkibiy qism bo‘lishi lozimligi kelib chiqadi. Aksariyat MEMT va MEOMT 

lar  o‘lchamlari  mikron  atrofida  bo‘lgan  uch  o‘lchamli  qurilmalar  bo‘lib 

hisoblanadi.  

---

243 

 

Hozirgi  kunda  mikrotexnologiyalarning  ikkita  tipi  – 

mikroelektronika

  va 

mikromashinali

  texnologiyalar  mavjud.  Mikroelektronika  deganda  kremniy 

kristallarida  integral  sxemalarni  ishlab  chiqarish  tushuniladi.  Mikromashinali 

texnologiya  esa  o‘zida  mikroqurilmalarning  strukturalari  va  qo‘zg‘aluvchan 

qismlarini  tayyorlash  uslublarini  birlashtiradi.  MEMT  larni  qurishdan  maqsad  – 

integral  elektron  sxemalar  va  mikromashinali  qurilmalarni  birlashtirishdan  iborat. 

MEMT  larning  yaqqol  ko‘zga  tashlanadigan  yutuqlari  narxining  pastligi, 

ishonchliligi, mitti o‘lchamlari bo‘lib hisoblanadi.  

Hozirgi  kunda  mikrotexnologiyalarning  uchta  yo‘nalishi  –  kremniyga  ishlov 

berish  uslublari,  eksimer  lazer  yordamida  ishlov  berish  va  LIGA-texnologiya 

ko‘proq  rivojlanishga  ega  bo‘lgan.  Kremniyga 

mikroishlov  berish

  uslublari 

ko‘proq  shiddat  bilan  rivojlanayotgan  uslublar  bo‘lib  hisoblanadi,  chunki 

mikroelektronikada  kremniy  tagliklardan  keng  foydalaniladi,  mikrotizimlarni 

qurish uchun aynan ular ko‘proq to‘g‘ri keladigan nomzodlar bo‘lib hisoblanadi.  

Eksimer  lazer 

UB  qurilma  bo‘lib  hisoblanadi,  u  juda  katta  miqdordagi 

materiallarga  ularni  qizdirmasdan  turib  mikromashinali  ishlov  berish  imkonini 

beradi,  bu  uning  lazerlarning  materialni  kuydirish  yoki  bug‘latish  yo‘li  bilan 

chiqarib  yuboradigan  boshqa  tiplaridan  ajralib  turadigan  xarakterli  chizgisi  bo‘lib 

hisoblanadi.  Eksimer  lazerdan  asosan  organik  materiallar  bilan  (polimerlar  va 

hokazolar) ishlash uchun foydalaniladi.  

LIGA  (litografik  galvanoplastika  va  quyish)  –  turli  materiallardan  ishlanishi 

mumkin 

bo‘lgan 

mexanik 

mikrotarkibiy 

qismlarni 

tayyorlash 

uchun 

foydalaniladigan texnologiyadir. Biroq bu texnologiyaning jiddiy kamchiligi bor – 

unda sinxrotronning rentgen nurlanishini qo‘llash talab qilinadi.