А. Тешабаев, С. Зайнабидинов, И. Каримов, С. Власов, В. Абдуазимов



Download 0,93 Mb.
Pdf ko'rish
bet85/86
Sana14.07.2022
Hajmi0,93 Mb.
#799518
1   ...   78   79   80   81   82   83   84   85   86
Bog'liq
2. Укув кулл. Сирт физикаси

 
 
берилган. Бундай кўринишга ўтиш соҳасидаги кремний атомларининг 
бузилган валент боғланишлари яъни, электронлари узулиб бўш қолган 
ҳолатлар мусбат зарядлар манбаи бўлиб хизмат қилади. Бундай марказларни 
кремний кристалида ва SiO
2
қатламида мавжуд бўлган металл атомлари 
билан ўзаро таъсирлашуви уларни қайта тақсимланишига олиб келади. 
Айрим атомлар SiO
2
қатлам ҳажмига кириб 
қолиб, ундаги электр нейтралликни бузади, 
бошқалари 
кремний 
кристали 
ичига 
диффузияланади. 
Бундай 
тақсимотни 
белгиловчи 
омил 
бўлиб 
сегрегация 
коэффиценти (η) хизмат қилади, яъни 
атомларнинг Si ва SiO

даги диффузия 
коэффицентлари нисбати η= 
2
DsoO
Dsi
.
14.
3 –расм
Агар η 

1 бўлса SiO

қатлам аралашма атомни итарувчи бўлади ва Si 
ни чегарага яқин қисмида бундай атомлар сони кўпроқ бўлади,
η >1 бўлса –
аксинча. Бундай жараёнлар туфайли ўтиш соғасида мусбат ва манфий 
зарядланган металл ионлари , Si – 0 бирикмаларининг бузилган алоқалари 
каби таркибий бузилишлар вужудга келади.


118 
Яна SiO

боғланиш аниқ бир шаклга эга эмаслиги, Si-O боғланиш 
узунлиги 1,56 Å – дан 1,66 Å- гача О-О боғланишлари 2,5Å дан 2,7 Å гача
ўзгариб туришини эътиборга олсак ўтиш соҳасини аниқ шаклини тасаввур 
қилиш қийинлиги маълум бўлади. 
Булардан ташқари SiO
2
қатлам ҳажмида қуйидаги турдаги нуқсонлар 
ҳам бор. 
≡ Si – уч валентли Si – донор. 
≡ Si- O боғланмаган О – амфотер марказ 
V
0
≡ Si……O кислород ваканцияси –иккиланма донор 

Si 
≡ кремний атоми ваканцияси – донор 
О

– тугунлараро кислород – донор 
Si
I
– тугунлараро кремний атоми – 
иккиланма донор 
O
2
, V
o
, Si – H, Si:OH, M-O ва ,бошқа 
комплекслар. 
Кремнийда эса V, V-Р, О

, Si

, О

, М, 
М –О, О-О каби нуқсонлар мавжуддир. 
Бундай нуқсонларнинг мавжудлиги ва 
ташқи таъсирлар туфайли уларнинг ўзаро 
таъсирлашувлари 
диэлектрик 
– 
яримўтказгич чегарасидаги сиртий 14.
4 -расм
ҳолатларга ҳам таъсир этади. Мана шандай
физикавий – кимёвий жараёнлар натижасида мусбат ва манфий зарядли 
марказлар пайдо бўлади.
≡ Si- O боғланмали комплекслари эркин электронларни ушлаб олиб, 
бўш ўрин - коваклар ҳосил қилади
≡ Si- O 

Si- O +h
+
бу эса оксид қатламида манфий зарядлар, чегара соҳасида эса мусбат зарядлар ҳосил 
бўлишига олиб келади. Si- SiO
2
тузилмалари нурлантирилганда чегаравий соҳада
≡ Si- OН + Rad

≡ Si+ OH
+
оксид қатламда эса
≡ Si + Rad (h
+
)

≡ Si+ e

≡ O
I
+ Rad(h
+
)

O
I

реакциялар туфайли гидроксил, кислород, кремний ионлари, эркин 
электронлар каби зарядлар ҳосил бўлади ва улар сиртий ҳолатлар табиатини 
белгилайди. Агар МДЯ тузилмаси ташқи электр майдонга киритилса Si- SiO
2
чегарасида яримўтказгич томонида электронлар тўпланиши (бойитилиши), 
ёки камайиши кузатилади. 
МДЯ ни металл контактига мусбат кучланиш қўйилса, бунда n - типдаги Si
соҳасидаги энергетик диаграммани кўриниши қуйидагича бўлади 
(15.4а, - расм).
Кучланишни қутблари ўзгартирилса яъни металл контактга манфий


119 
кучланиш 
қўйилса 
– 
электронларни камайиши кузатилади 
(14.5,б-расм) ва кучланиш яна ҳам 
катталашуви 
иккала 
ҳолда 
ҳам 
ўтказувчанликни 
инверсияга 
олиб 
келиши мумкин. 
Электронларни 
кўпайишидан 
камайишига ўтиш чегарасида яъни 
инверсия чегарасидаги ташқи кучланиш 
катталиги «текис соҳа» кучланиши
14.
5-расм
дейилади. 
Si- SiO
2
чегарасидаги сиртий ҳолатларни тадқиқот қилишни асосий 
усулларидан 
бири 
МДЯ 
типидаги 
тузилмаларни
вольт-фарада яъни С – V характеристикаларини ўрганишдир. Бу усул МДЯ 
тузилмаларининг С – V характеристакаларини ўлчаб, уларни назарий 
хисобланган характеристикалари билан солиштиришдан иборат. Бундай 
ўлчовлар асосида чегаравий соҳадаги сиртий ҳолатларнинг 10 
-10 
см 
–2
эв
-1
гача 
бўлган миқдорларни аниқлаш мумкин. 

Download 0,93 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   78   79   80   81   82   83   84   85   86




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish