1-maruza Tenzodatchiklar. Yarim o’tkazgichlarning elektrofizik parametrlariga deformasiyani ta’siri. Tenzorezistorlar p-n o’tish

Silfonli datchik. Asosiy struktura elementlarining deformatsiyalari va siljishlariga olib keladigan katta bosim va harakatlar sanoat avtomatizatsiyasida asosan ko'mir reostatlari va zichlagichlar yordamida o'lchanadi.

Kichkina gaz yoki suyuq bosimni o'lchash uchun turli xil membranali sensorlar va qo'ng'iroqlar ishlatiladi.

2-rasmda quyida ishlaydigan gaz bosimini o'lchaydigan kovak sensori dizayn sxemasini taqdim etadi. Gaz bosimi o'zgarganda, 1 silindrning gofrirovka qilingan devorlari siqilgan yoki kengaytirilib, chiqish signalini yaratadi.

2 silindr atrof-muhit ta'sirini (harorat, bosim o'zgarishi va boshqalar) qoplash uchun ishlatiladi. Undan havo evakuatsiya qilinadi va u muhrlanadi.

Sovuqlar va diafragma sensorlari haddan tashqari yuklashga sezgir: o'lchangan bosimni qoldiq deformatsiyalar yuzaga keladigan chegaraga etkazish mumkin emas.

2-rasm. Diferensial silfonli datchikning konstruksiyasi:

1, 2 - silfonli silindrlar; 3 - harakatlanuvchi sterjen.

Pezoelektrik datchiklar bosim o‘zgarishi tez o‘tadigan qurilmalarda ishlatiladi. Bunda pezoelektrik effektdan foydalaniladi, ya’ni deformatsiya natijasida ba’zi bir dielektriklar qirg‘og‘ida elektr zaryadlari paydo bo‘ladi.

Pezoelektrik effektga ega bo‘lgan materiallarga kvars, segnet tuzi, bariy titanati va sh.o‘. kiradi. Ixchamlik sodda tuzilishga ega ekanligi ularni afzalligi bo‘lsa, sezgirligini ozligi, statik miqdorlarni o‘lchash imkoniyati yo‘qligi uning kamchiligidir.