Ў з б е к и с т о н р е с п у б л и к а с и Олий ва Ўрта махсус таълим вазирлиги Абу Райҳон Беруний номидаги

Эпитаксиал қатламларни ўстириш усуллари

тўғрисида умумий маьлумотлар 3

1. 
   Электрон асбобларнинг ривожланишида юпқа
   

қатламларнинг аҳамияти 3

2. 
   Эпитаксиянинг турлари, ўстириш усуллари 5
   
3. 
   Тагликларни тайёрлаш 8
   

1.4. Кристалларнинг юзасига вакуумда ишлов бериш (силлиқлаш ва тозалаш) 18
II. Қаттиқ жисм юзаларининг тузилиши 22
2.1. Уч ўлчамли кристалларда атомларнинг жойлашиши 22
2.2. Қаттиқ жисм юзасида атомларнинг силжиши 26
2.3. Кремний ва арсенид галлий монокристалларининг юзасида атомларнинг жойлашиши 29
III. Юқори вакуум шароитида эпитаксиал плёнкаларни ҳосил қилиш усуллари 33
3.1. Молекуляр-нурли эпитаксия 33
3.2. Қаттиқ фазали ва реактив эпитаксия 37
3.3. Ионли активлаштириш усули билан қаттиқ жисм
юзаларида юпқа плёнкалар ҳосил қилиш 39

0. 
   Ион имплантация усули билан юзаларни модификация
   

қилиш ва юпқа плёнкалар олиш истиқболлари . 41
IV. Юпқа қатламларни ўстириш босқичлари 49

1. 
   Юпқа қатламларда марказлар (ўсимталар) ҳосил
   

бўлиш назарияси 49
4.2. Эпитаксиал плёнкалар олишнинг босқичлари
ўсиш кинетикаси 59
4.3. Поликристалл плёнкаларнинг ўсиш жараёнида нуқсонларнинг вужудга келиши 62
4.4. Монокристалл плёнкалардаги нуқсонлар 65
V. Кремний юзасида эпитакcиал плёнкалар ўстириш 68
5.1. Кремний юзасида кремний ўстириш
(автоэпитаксия) 68
5.2. Кремний эпитаксиал қатламларида кристаллографик
нуқсонлар 73

3. 
   Кремний монокристали юзасида CoSi₂ ни эпитаксиал ўстириш 74
   
4. 
   МНЭ ва ҚФЭ усулларининг афзалликлари ва камчиликлари 80