Ў з б е к и с т о н р е с п у б л и к а с и Олий ва Ўрта махсус таълим вазирлиги Абу Райҳон Беруний номидаги

Металлаш усулига талаб берилган электр параметрлари, яроқли буюмлар чиқиш проценти, ишончлилик, тайёрлашнинг оддийлиги ва нархига қараб қўйилади.
Кремнийдаги актив ва пассив элементлар электродларини металлаш тизими кичик қаршиликли контакт ҳосил қилиш имкониятини бериши керак. Металл диэлектрик билан яхши бирикма ҳосил қилиши, плёнканинг жуда ингичка бўлакларга бўлинишига имкон бериши ва ташки чиқишларни бириктиришга қўлланиладиган қотишма билан бирикма ҳосил қила олиши керак.
Кўп қатламли структуралар ҳосил қилишда ярим ўтказгичли пластиналар устида қуйидаги қўшимча операциялар ўтказилади:

1. 
   Диэлектрик ҳосил қилиш.
   
2. 
   Пастки металл плёнкага контакт талаб қилинган жойда диэлектрикда тирқишча очиш учун фотолитографик қайта ишлов бериш.
   
3. 
   Металлнинг иккинчи қатламини ўтказиш ва унда расм ҳосил қилиш.
   

Алюминийли бирикмалар

Кремнийли ИМС технологиясида элементлараро бирикмаларни тайёрлашда алюминийли металлаш кенг қўлланилади. Бунинг натижасида ИМСни тайёрлашда фақат битта металлдан фойдаланилади. Бу эса технологияни соддалаштиради. Вакуумда алюминийли буғлантириш энг кўп ўрганилган ва осон бажариладиган жараёндир. Бундан ташқари алюминий оксидларга яхши адгезияланади. Алюминий плёнкаларига фотолитография усуллари ёрдамида керакли конфигурацияларни ҳосил қилиши учун осон ишлов бериш мумкин. Алюминий айриқча қиздириш тигелларидан ёки электрон нурлар ёрдамида буғлантирилади.

7
.9 – расм. Юпқа оксид қатламига эга бўлган ярим ўтказгич ва металл орасидаги Шоттки барьерининг кўриниши.

ИМС ларда алюминий плёнкасининг қалинлиги бир микрон атрофида бўлади. Керакли расм, яъни конфигурация ҳосил қилингандан сўнг алюминийли қопламага кремний билан кичик қаршиликли контакт ҳосил қилиш учун термик қайта ишлов берилади.

Бундай куйдиришнинг режими 550С да бир неча минутни ташкил этади. Aлþминий p - ва n⁺ - типли кремний билан кичик омли контакт ҳосил қилади ва мана шундай қатламлардан ИМСда фойдаланилади.