Kristallarni o`stirish usullarining yarimo`tkazgich materialining asosiy fizik parametrlar va xossalariga ta`sir Kristall panjaralarning asosiy turlari

xmlns:w="urn:schemas-microsoft-com:office:word"
xmlns="http://www.w3.org/TR/REC-html40">
Nuqta simmetrya guruhlari, Fyodorov guruhlari (3 o`lchovli yholatda 230 ta) Kremniy, asosli A3B5, A2B6 sinfdaki yarimo`tkazgichlar

Kristallarni o`stirish usullarining yarimo`tkazgich materialining asosiy fizik parametrlar va xossalariga ta`sir

Kristall panjaralarning asosiy turlari.

Nuqta simmetrya guruhlari, Fyodorov guruhlari (3 o`lchovli yholatda 230 ta)

Kremniy, asosli A3B5, A2B6 sinfdaki yarimo`tkazgichlar

Olti burchakli panjara (grafit, GaN)

Umumiy yarimo`tkazgichlar va yarimo`tkazgichlar o`stirish usullari

1. Choxralskiy usuli

Yarimo`tkazgich plyonkalar

• Suyuq fazali epitaksiya
• Fizik perkash va cho`kma
• Plazma bilan stimulyatsiya qilingan kimyoviy cho`kma
• Molekulyar nur epitaksiyasi

Choxralskiy usuli

Choxralskiy usuli

Erituvchi polikristalli qo`shilgan kremniy
Urug` kiritish

Kristall o`sishi boshlanishi

Kristallni tortib olish

O`stirilgan monokristall va eritmaning qolgani

Monokristallarini olishda eng ko`p ishlatadigan usullar p fazali yarim ozoelektrik monokristall plenkalari olinadi. Usulni qorsatilgan.

Epitaksiya usuli

Sohali olgani uchun ozgartirish imkoniyati mavjud. SHuning uchun bu usul petkazgichli materiallarni yaxshiroq tozalash imkoniyatini beradi.

Sohali olgani uchun ozgartirish imkoniyati mavjud. SHuning uchun bu usul petkazgichli materiallarni yaxshiroq tozalash imkoniyatini beradi.

Nostexiometrik eritmalardan petkazgichli kristallarni olib, uning yordamida har qanday erish haroratiga ega bolar bosimi katta bozoelektrik yarim ostirishda qostirish jarayonida eritmalar tayorlashda erituvchi neytral moddadan (ozoelektrik yarim ostirish. Bu usul nisbatan universal usul bolgan, hamda buglgan petkazgichli birikmalarini ham ollash mumkin. Bu usulda ostirilayotgan material tarkibiga kirmagan moddadan) yoki birikma tarkibiga kiruvchi moddalardan ham foydalanish mumkin. Rasmga qarang.

Yostirishning asosiy afzalliklari. 1. Bu usul bilan o bosimi katta bostirish mumkinligi. 3. Yuqoridagi usullarga nisbatan onaltirilgan kristallanish usuli bilan ostirish nisbatan past haroratlarda olib boriladi. 2. Buglgan birikmalarni 1.punktni hisobga olgan holda ostirish qurilmalarining konstruksiyasi nisbatan soddalashadi.

E`tiboringiz uchun raxmat!

211-yarimo`tkazgichlar fizikasi
Allashukurova Mohinur
http://fayllar.org