Ўзбекистон республикаси олий ва ўрта махсус таълим вазирлиги қарши муҳандислик иқтисолиёт институти

4.2. Фазали эпитаксия
Суюқ фазали эпитаксия.
Афзалликлари ва камчиликлари.
Суюқ фазали эпитаксия асосан GaAS, GdP2 каби қатламли 
ярмўтказгичли 
бирикмалар 
олиш 
учун 
қўлланилади; 
шунингдек, 
монокристалл кремний олишнинг асосий усулиҳисобланади. Жараѐн азот ва 
водород атмосферасида (қоришма ѐки подложка сиртидаги оксид 
плѐнкаларини тиклаш учун) ѐки вакуумда (дастлаб оксид плѐнкаларини 
тиклаб олгач) ўтказилади. Қоришма подложка сиртига суртилади, бунда уни 
қисман эритади ва унинг камчиликлари , ифлосликлари йўқотилади.
Газ фазали эпитаксия – бу яримўтказгичларининг эпитаксиял 
қатламларини буғ ва газ фазаларидан чўкма ҳосил қилиш йўли билан 
олинишидир. 
Энг 
кўп 
кремнийли, 
германйли, 
арсенид-галлилей 
яримўтказгичли ускуналарда атмосфера босимива ис да қўлланилади. Жараѐн 
вертикал ѐки горизонтал типдаги махсус реакторларда атмосфера босими 
остида ѐки паст босимда ўтказилади. Реакция 750-1200 градусгача 
қиздирилган яримўтказгичли пластинкалар сиртига боради.
Молекуляр нурли эпитаксия.
Афзалликлари ва камчиликлари.
Молекуляр нурли эпитаксия (МНЭ) ѐки молекуляр боғли эпитаксия ўта 
юқори вакуум шароитидаги эпитаксиал ўсишдир. Бу гетерочегаралари 
моноатомли силлиқ бўлган олдиндан берилган қалинликдаги гетеро 
ткзилманиѐки лигерланиш профили олдиндан белгилангангетеро тузилмани 
ўстириш имконини беради. Эпитаксия жараѐни учун сирти атомлар силлиқ 
бўлган яхши тозаланган махсус подложкалар зурур (расм 4).
Расм 4. Молекуляр нурли эпитаксиянинг схемаси
Йўналтирилгн ўстириш. оддий кўз билан қараганда ҳам япалоқ, 
қаттиқ сирт-кристалл жисмни кўриш мумкин.
64

---

Микроскопда: атом ва кимѐвий боғланишни кўриш мумкин.
Бу боғланиш минимум Ердир.
Подложка атомларинг сиртга жойлашишида эркин атомларини 
жойлашишига йўналтирилган таъсири (расм 5-8).
Расм 5. Ўз-ўзидан хосил бўлувчи моноқаватнинг фрагменти. LXR. S-
субстрат билан боғлайдиган LX- нополяр занжирнинг R-реакцион гурухи. L 
га боғлиқ равишда материалнинг шимдирилиш хоссалари ўзгариши мумкин
1
.
1
Jeremy Ramsden Nanotechnology, Second Edition: An Introduction (Micro and Nano Technologies) 2nd 
Edition, Elsevier, 2011, 110
65

---

Расм 6. Лэнгмюр-Блоджетт пленкалари. А) моноқават, б) биқават, в) 
У-мультиқават
1
Расм 7. Лэнгмюр-Шѐфер усули. а) Лэнгмюр моноқаватини ҳосил қилиб 
поляр субстрат аста секин кўтарилади. б) иккинчи моноқават чўктирилади,
қопланган нополяр субстрат Лэнгмюр пленкасига горизонтал 
йўналтирилади
2
.
1
Jeremy Ramsden Nanotechnology, Second Edition: An Introduction (Micro and Nano Technologies) 2nd 
Edition, Elsevier, 2011, 110
2
Jeremy Ramsden Nanotechnology, Second Edition: An Introduction (Micro and Nano Technologies) 2nd
66

---

Расм
8.
Поликатионлар ва заррачаларни субстратга чўктириш.
Полиионларни адсорбция вақтидаги ортиқча заряди
1
.