Ўзбекистон республикаси олий ва ўрта махсус таълим вазирлиги қарши муҳандислик иқтисолиёт институти

Нанолитографи
patterning nanoscale features; used extensively in the
янинг асосий
fabrication of ICs and NEMS
принципининг
тушунтиринг?
Расмдан
фойдаланинг!
110

---

Нанолитография: наноўлчамли деталларни шакллаш 
учун нано ишлаб чиқариш техникаси; интеграл 
схемалар ва NEMSлар ишлаб чиқаришда кенг 
қўлланилади
10. Melting point oscillation: the phenomenon of Суюқланиш suppression of 
melting point followed by elevation as the хароратининг 
particle size is reduced from bulk to sub-nanometre size
осцилляцияси
Суюқланиш
хароратининг
осцилляцияси:
ва
заррачаларнинг
ўлчами
ассосий
массадан
нанотермометр
субнанометргача
камайиб
миқдорининг
ошиши
нинг асосий
натижасидаги
суюқланиш
хароратинибостириш
принципининг
ходисаси
тушунтиринг?
111

---

Назорат саволлари
1. Атом-кучланишли
микроскопия
(AFM),
сканерловчи
зонд
микроскопияси (СЗМ) ва атом манипуляциясининг асосий 
принципини солиштиринг?
2. Наноиндентификация ва нанолитографиянинг асосий принципининг 
тушунтиринг? 
3. Микрокантилевер нима учун керак? 
4. Электрон микроскопия ва сканирловчи яқин худудли оптик 
микроскопиянинг асосий принципининг тушунтиринг? 
5. Ўта ўказувчан квантинтерферометр (SQUID) ва 
рентгенфотоэлектронспектроскопия нима учун керак? 
Фодаланилган адабиѐтлар
1. David Rickerby Nanotechnology for Sustainable Manufacturing, Taylor 
and Fransis, 2014, 197-212. 
112

---