Ўзбекистон алоқа ва ахборотлаштириш агентлиги

2.3. Sensorlar elektronikasi va radiochastotali zondlash

Mikroelektromekanik tizimlar (MEMS) mikro ishlov berish texnologiyasi yordamida ishlab chiqariladigan miniatyura mexanik va elektromexanik elementlarni o'z ichiga olgan texnologiya sohasi hisoblanadi. Texnologiya, ayniqsa, zamonaviy sensorlar va bajaruvchi qurilmalarni ishlab chiqarishda samaradorligini isbotladi.

Nanoelektromekanik tizimlar (NEMS) va MEMS yangi avlod sensorlari, bajaruvchi tizimlar, aqlli chiplar, keng ko'lamli chiplar va protsessorlar uchun kelajak sifatida qaraladi. NEMS va MEMS sensorlari o'z ichiga olgan murakkab apparatdir; atrof-muhitdan tizimga ma'lumotlarni kiritadigan sensor elementlari, sensor signalini hosil qiluvchi elektron qurilmalar hisoblanadi. MEMS, umuman olganda, tibbiy asbob-uskunalarni ishlab chiqishni yanada xavfsizroq, hamda ulardan osson va samarali foydalanishga imkon berdi. Juda katta integratsiya (Very large Scale Integration, VLSI) tizimlarini ishlab chiqish MEMS texnologiyasini yuqori hisoblash quvvatiga ega miniatyuraviy ko’rinishga ega tizimlar, ammo yuqori samarali va ishonchli davrlarni yaratishga imkon berdi.

MEMS va NEMS sezgir, faol, tezkor javob beruvchi va o'ziga xos qiziqish muhitiga moslashtirilgan murakkab sensorlarni ishlab chiqishga imkon berdi. MEMS sensorlarining bu sifati sog'liqni saqlashda, ayniqsa, bemorni monitoring qilish tizimlarini yaratishda katta rol o'ynadi. MEMS ning maxsus turlari miya trombozi va anevrizmasini tashxislash va davolash uchun kateter deb ataladigan teshik orqali tanaga kiritiladi [5].

MEMS texnologiyasi to'rtta alohida komponentni o'z ichiga oladi:

• 
  Mikrosensorlar
  
• 
  Mikrostrukturalar
  
• 
  Mikroelektronika
  
• 
  Mikrofirmalar va kichik korxonalar
  

MEMS texnologiyasi sog’liqni saqlash va tibbiy sensorlar uchun juda muhimdir, chunki ular ilg'or integral mikrosxemalar bilan ta'minlangan intellektuallikni ta'minlaydi.

MEMS sensor jismoniy xususiyatlari diqqat stress sifatida nazorat qilinishi kerak yoki shtammlari maqbul chegaralari yuqorida elektronika uzatiladi kompensatsiya texnikasi ishlatiladi bo'lsa ham, uning bevosita ishlashi va uzoq muddatli barqarorlikni buzishi mumkin. Tashqi tanglikni davom ettirish kerak, deb MEMS faoliyat uchun uning atrof-muhit bilan o'zaro ularning jismoniy farq ilovalar uchun mo'ljallangan murakkab.

MEMS sensorlarining jismoniy xususiyatlari diqqat bilan nazorat qilinishi kerak, chunki elektronikaga ruxsat etilgan chegaralardan yuqori bo'lgan kuchlanish yoki shtammlar kompensatsiya usullari qo'llanilsa ham, uning bevosita ishlashi va uzoq muddatli barqarorligini yomonlashtirishi mumkin. Tashqi kuchlanishni bartaraf etish zarurati MEMS jismoniy sensorli ilovalar uchun atrof-muhit bilan ishlashi uchun mo'ljallangan bo'lishi bilan murakkablashadi.

Sensorlarni yaratishda va loyihalashda MEMS qurilmasini tanlash juda muhimdir. Nam iqlim zonalari va muhitlarida germetik qurilmalar qo'llaniladi. Shunday qilib, sensorlar va kiyimlarning dizayni foydalanish joylariga qarab o'zgaradi. Tashqi makonda ishlatiladigan sensorli komponentlar va sensorlar maxsus turdagi qoplamalar va epoksi qatronlar bilan to'g'ri muhrlanadi. Qurilmani tanlash ham atrof-muhit haroratiga va ixtiyoriy ish haroratiga bog'liq bo'lishi kerak. Qurilmalar o'zlarining moddiy imkoniyatlariga mos keladigan oraliqda ishlashi kerak.

Yuqori vibratsiya va zarbalarga chidamli sensorlardan foydalanganda, masalan inertsion sensorlar, aqilli jeletlar va boshqa taqiluvchi qurilmalardan foydalanganda tashqi dizaynga katta e’tibor beriladi. Yuqori vibratsiyani oldini olish maqsadida va bunda kontaklar ajralishini oldini olish maqsadida prujinali kontaktlardan foydalanish maqsadga muvofiq bo’ladi.