“Yupqa qatlamlar fizikasi va texnologiyaSI”

Tajribalar o’tkazish vaqtida amalga oshiriladigan texnologik jarayonlar
Tajribalar jarayonida ionli implantatsiya bilan bir qatorda ko’pgina texnologik operatsiyalar amalga oshiriladi: namunalarni vakuumda qizdirish, namuna sirtiga begona atomlarni kiritish; ionlar bilan uzoq vaqt “o’qqa tutish”, oksidlanish. Bu operatsiyalarni elektron to’p va analizator elektrodlari sirtlarining ifloslanishini oldini olish maqsadida qo’shimcha (ishlov berish) kamerasida bajarish maqsadga muvofiq.
1. Namunalarni tozalash 10^-6 Pa dan yuqori bo’lgan vakuumda yuqori temperaturali qizdirish yo’li bilan, zarur bo’lganda esa ionli ishlov berish va keyingi qizdirish (otjig) yo’li bilan bajarilishi zarur.
T1200 K haroratgacha qizdirish isitgichning issiqlik nurlanishi hisobiga, undan yuqori temperaturagacha qizdirish esa (orqa tomondan) elektronlar oqimini yo’naltirish bilan amalga oshiriladi.
Namunalarni ionlar bilan tozalaganda 8 mkAsm^-2 tok zichligiga ega bo’lgan 0,51,5 keV energiyali Ar⁺ ionlar dastasidan foydalanish mumkin.
2. Ishqoriy va ishqoriy-er elementlarining atomlarini changlantirish tok o’tkazilganda qiziydigan tantaldan (yoki nikeldan) yasalgan qayiqcha (nay) bilan amalga oshiriladi. Tantaldan yasalgan qayiqchaga joylashtirilgan BaTi tabletkasidan (kichkina kulcha shaklidagi bo’lakchasidan) Va atomlari, kapillyar to’ynukli nay ko’rinishidagi standart natriy va tseziy manbalaridan Na va Cs atomlari olinadi. Bariy va ishqoriy metallarning changlanish tezligini o’rganilayotgan namunaning sirti aynan shu metallarning atomlari bilan qoplanganida namunaning chiqish ishi minimumiga ko’ra aniqlash mumkin. Shu bilan birga e(t)=e_min bo’lganda qalinlik 1 monoqatlam deb qabul qilingan. Bundan tashqari changlanish tezligini kalibrlash (taqqoslash, baholash) taglik modda elektronlarining oje-piklariga va changlanish jarayonidagi (sirtdagi) atomlarga ko’ra bajariladi.
3. Sirtga kislorodli ishlov berish asbobda zarur bosim oraliqlaridagi dinamik muvozanat barqarorlashgunicha chiqaruvchi kameraga kislorodni uzluksiz yuborilishi bilan amalga oshiriladi. Kislorod manbai bo’lib qizdiriladigan shisha naychaga joylashtirilgan KMnO₄ kukuni xizmat qiladi. Gazsimon kislorod oqimi suyuq kislorodli qopqon orqali o’tadi. Naychaning isish temperaturasini o’zgartirib, turli bosimdagi kislorodni olish mumkin.

4. 
   O’rganilayotgan namunalarning sirtini uzoq elektron “o’qqa tutish” ko’p elektrodli elektron to’pdan foydalanib bajariladi. To’p 10100mAsm^-2 oraliqdagi elektron toki zichligini ta’minlaydi. Dastaning nishondagi diametri 3 mm.ni tashkil qiladi.