“Yupqa qatlamlar fizikasi va texnologiyaSI”

MNE plyonkalarining o’ziga xos xususiyatlari.
MNEning afzalliklari.
Boshqa usullarga nisbatan, avval qayd qilganimizdek, MNE usuli quyidagi asosiy afzalliklarga ega:

1. 
   asos va atom (molekula) lar manbalarini yuqori darajada tozalash va eksperimentni juda yuqori vakuumda o’tkazish hisobiga epitaksiya temperaturasini juda pastga tushirish mumkin (500600 K);
   
2. 
   har xil turdagi (metall, yarim o’tkazgich, dielektrik) materiallarni bir - birining ustiga qatlamma-qatlam kerakli qalinlikda o’tqazish mumkin;
   
3. 
   bunday qatlamlarni (masalan: metall-dielektrik-yarim o’tkazgich, metall-okisl-yarim o’tkazgich, yarim o’tkazgich-dielektrik-yarim o’tkazgich ...) davriy ravishda bir xil ustma-ust o’tkazib borish mumkin, ya’ni hajmiy strukturalar olish mumkin;
   
4. 
   bunday o’stirishda bitta turdagi qatlam ikkinchi turdagi qatlam bilan keskin chegara hosil qilishi mumkin;
   
5. 
   plyonkalar hosil qilish jarayonida uni legirlash uchun legirlovchi moddaning tarkibini va kontsentratsiyasini o’zgartirish yo’li bilan xususiyati o’zgarib boruvchi tizimlarni hosil qilish mumkin.
   

Yuqorida ko’rsatilgan afzalliklar tufayli MNE plyonkalar mikroelektronikaning rivojlanishida asosiy rolni o’ynagan bo’lsa, nanoelektronikaning paydo bo’lishiga sabab bo’ladi.
Umuman yupqa epitaksial plyonkalar alohida o’ziga xos bo’lgan xususiyatlarga ega bo’ladi. Bunday xususiyatlarning paydo bo’lishida asosning ta’siri ham, plyonka o’sish davomida legirlanish darajasi ham, plyonkaga tushgan, undan o’tayotgan va chiqayotgan elektronlar va fotonlarning ta’sirlari ham massiv plyonkalardan ko’ra farq qilishlari asosiy rolni o’ynaydi.


Tayanch so’zlar:
Molekulyar-nurli epitaksiya, yuqori vakuum, molekula, silliq va defektsiz sirtlar, atom (molekula) manbalari, metall, yarim o’tkazgich, dielektrik, keskin chegara, legirlash, legirlovchi modda.
Savollar

1. 
   Molyekulyar nurli epitaksiya texnologiyasining asosiy printsiplari.
   
2. 
   MNE plyonkalarining o’ziga xos xususiyatlari.
   
3. 
   MNE plyonkalarini PDP, MDP, MOP tizimlarda qo’llash istiqbollari.
   
4. 
   MNEning afzalliklari va kamchiliklari.
   
5. 
   Epitaksial o’stirish temperaturasini pasaytirish usullari.
   
6. 
   Spesifik xususiyatga ega bo’lgan MNE plyonkalar olish shartlarini tushuntiring.
   
7. 
   Plyonkalar hosil bo’lish markazlari nima? Ularning o’lchamlari qanday?
   
8. 
   MNE usuli boshqa usullardan nimasi bilan farq qiladi?