Влияние режимов ионно-плазменного напыления на структуру и свойства износостойких покрытий

С 
О 
Мg 
S 
Cl 
Mo 
Итого 
С 
MgO SO
3 
Cl 
MoO
3 
Итого 
исходный
84.32 
2.0 
0.97 
0.91 
11.81 - 
100 
84,32 1.60 
2.27 
11,81 - 
100 
38,1 нм 
52,01 
12,80 - 
- 
9,60 
25,59 
100 
52,01 - 
- 
9,60 
38,39 
100 
80,1 нм 
34,06 
20,99 - 
- 
2,98 
41,96 
100 
34,06 - 
- 
2,98 
62,95 
100 
126,8 нм 
22,42 
25,42 - 
- 
1,36 
50,8 
100 
22,42 - 
- 
1,36 
76,22 
100 
173,1 нм 
24,43 
24,43 - 
- 
2,31 
48,83 
100 
24,43 - 
- 
2,31 
73,26 
100 
205 нм 
21,15 
26,29 - 
- 
- 
52,56 
100 
21,15 - 
- 
- 
78,85 
100 
Рис. 3.26 – Диаграмма изменения массового содержания химических элементов от толщины покрытия

---

108 
На поверхности исходной резины наблюдали основные элементы, вхо-
дящие в состав рецептуры резины, исследуемой в качестве объекта испыта-
ния. Основной элемент в составе данной резины углерод, как составная часть 
каучуков и наполнителя резиновой смеси, хлор, как основная часть хлоро-
пренового каучука. До модификации поверхности ионами металла Мо коли-
чество углерода составляла 84,32 %, хлора – 11.81 %, и окиси магния - 1,62 
%. Процентное содержание С, Сl и Мо изменялось в обратной пропорции. 
Наблюдалось снижение углерода до 21,15 % при толщине покрытия 205 нм, 
количество хлора снизилось до 2,31 % при толщине 173 нм. Одновременно 
структура поверхности насыщалась атомами молибдена: при увеличении 
времени напыления количество молибдена увеличилось от 25,59 (толщина 
покрытия 38 нм) до более 50 % (толщина покрытия 205 нм).
Также при анализе химического состава обнаружено, что молибден на по-
верхности модифицированных образцов находится в связанном состоянии 
МоО
3
(трехокись молибдена). Напыление и изучение химического состава 
происходит в условиях вакуума. Наличие кислорода в комплексе оксидов мо-
либдена можно объяснить следующим образом: в порах резины имеется кисло-
род, и возможно, он связывается с молекулами молибдена, либо это происходит 
при окислении уже на воздухе после проведения напыления и до исследования 
поверхности на химический состав. 
На основе полученных данных о качественном и количественном составе 
и интенсивности распределения элементов модифицированного и немодифи-
цированного образцов можно сделать вывод об изменении их качественного 
состава. Топография поверхности, количественное исследование которой мо-
жет быть реализовано модульной программой Gwyddion, предназначенной для 
анализа полей высот. Программу использовали для изучения свойств профиля 
поверхности образцов. 

---

109