Universum


Figure 1. Current-voltage characteristics of ohmic contacts of Ta/Ti/Al/Ni/Au (a)



Download 3,65 Mb.
Pdf ko'rish
bet153/155
Sana31.12.2021
Hajmi3,65 Mb.
#263130
1   ...   147   148   149   150   151   152   153   154   155
Bog'liq
5(86 6)

Figure 1. Current-voltage characteristics of ohmic contacts of Ta/Ti/Al/Ni/Au (a)  

and Ti/Al/Ni/Au (b) metallization systems 

 

The  results  obtained  demonstrate  the  prospects  of 



using metallization with the addition of tantalum, as well 

as the technology of sub-alloying. The higher value of 

the specific contact resistance of metallization with sub-

alloying  is  explained by  an  insufficient  increase  in  the 

level of doping of the active layer due to incomplete ac-

tivation of the impurity. The current-voltage character-

istics of the instrument structures are shown in Fig. 2 and 

3. 


 


№ 5 (86)                                     

                                 май, 2021 г. 

 

94 


 


Download 3,65 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   147   148   149   150   151   152   153   154   155




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish