Тошкент давлат техника университети Геология ва кончилик иши факультетида

MDY tranzistorlarining geometrik o'lchamlari bipolyar tranzistorlarnikidan sezilarli darajada kichikroqdir, bu esa bipolyar va MDY-IMS ishlab chiqarish jarayonlarini tahlil qilish bipolyar texnologiyani MDY texnologiyasidan 30% ko'proq murakkabroq ekanligini anglatadi.

MDY tranzistorlarining geometrik o'lchamlari bipolyar tranzistorlarnikidan sezilarli darajada kichikroqdir, bu esa bipolyar va MDY-IMS ishlab chiqarish jarayonlarini tahlil qilish bipolyar texnologiyani MDY texnologiyasidan 30% ko'proq murakkabroq ekanligini anglatadi.

MDY-texnologiyasidan foydalanilganda, zarur texnologik operatsiyalar soni, ayniqsa yuqori haroratli diffuziya operatsiyalari sezilarli darajada kamayadi. Shuning uchun muvofiq MDY -IMS rentabelligi bir xil funktsional murakkablikdagi tegishli bipolyar yaralishi boyicha IS hosil qilish ancha murakkab.

• MDY-texnologiyasidan foydalanilganda, zarur texnologik operatsiyalar soni, ayniqsa yuqori haroratli diffuziya operatsiyalari sezilarli darajada kamayadi. Shuning uchun muvofiq MDY -IMS rentabelligi bir xil funktsional murakkablikdagi tegishli bipolyar yaralishi boyicha IS hosil qilish ancha murakkab.
• Bipolyar texnologiya bilan taqqoslaganda, MDY texnologiyasi kamida uchta afzallikka erishish imkonini beradi.

Birinchidan, jarayon takrorlanishi bu operatsiyalar uchun umumiy soni kamayadi:

Birinchidan, jarayon takrorlanishi bu operatsiyalar uchun umumiy soni kamayadi:

operasiyalar kichik sonini o'z ichiga oladi, chunki photolithographic operatsiyalari, diffuziya va yemirish (travleniye) soni kamayadi. Shunday qilib, rejaga olingan mikroshema uchun, MDY IMS ning kichik maydoni sarf qilinadi.

Ikkinchidan, MDY tuzilishi faol bipolyar tranzistorlarni amalga oshirish tuzilmalari farqli o'laroq izolyatsiyalash p-n o'tish yoki hududiy, shakllanishini talab qilmaydi.

Ikkinchidan, MDY tuzilishi faol bipolyar tranzistorlarni amalga oshirish tuzilmalari farqli o'laroq izolyatsiyalash p-n o'tish yoki hududiy, shakllanishini talab qilmaydi.