Структура и электрические свойства тонких пленок (ZnO/SiO2)25



Download 0,88 Mb.
bet9/11
Sana24.02.2022
Hajmi0,88 Mb.
#227644
1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   11
4. Заключение

Методом ионно-лучевого распыления синтезированы многослойные тонкие пленки (ZnO/SiO2)25, состоящие из слоев нанокристаллического ZnO и прослоек аморф-ного SiO2. Толщина бислоя полученных структур изме-нялась в диапазоне от 6 до 10 нм. В интервале темпера-тур 77−300 K исследованы температурные зависимости электрического сопротивления синтезированных пленок. Установлено, что для тонких пленок (ZnO/SiO2)25 в исследованном диапазоне температур наблюдается по-следовательная смена доминирующего механизма прово-димости от прыжкового с переменной длиной прыжка в узкой полосе энергий вблизи уровня Ферми при азотных температурах к примесной проводимости при темпе-ратурах, близких к комнатной. По результатам иссле-дования температурных зависимостей электрического сопротивления сделаны оценки эффективной плотности локализованных состояний на уровне Ферми и значений энергии активации примесных уровней.



Физика и техника полупроводников, 2019, том 53, вып. 11



Структура и электрические свойства тонких пленок (ZnO/SiO2)25

1511







Исследовано влияние термической обработки в ваку-уме на структуру и электрические свойства синтезиро-ванных пленок. Установлено, что многослойная струк-тура тонких пленок (ZnO/SiO2)25 является стабильной до температур 560−600C, при которых происходит химическое взаимодействие между слоями ZnO и SiO2, сопровождающееся разрушением многослойной струк-туры, появлением химического соединения Zn2SiO4 с тетрагональной структурой (пространственная группа I-42d) и ростом кристаллов ZnO.


Благодарности

Авторы выражают благодарность Центру коллектив-ного пользования ФИЦ КНЦ СО РАН (г. Красноярск) за проведение электронно-микроскопических исследова-ний образцов.





Download 0,88 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   11




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish