С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

а)
5.8-расм. Кучланишни к,айта улаш О -» V дан сунг х;ар хил
темпсратураларда сигимнинг вак,тга богланиши
а-Т =Т 1, б-Т =Т 2, в-Т=Т 3, Т,>Т2>Т3.
ниш импульси берилади. Ланг томонидан даврий к,айта 
улаш усули ривожлантирилди ва автоматлаштирилган усу­
лининг назарий ва амалий асоси яратилди. Бу усул ЧС 
ни спектроскопик тадкик килишнинг даврий кайта улаш 
усули 
D L T S
деб юритила бошланди. Шундай килиб, 
DLTS
автоматлаштирилган изотермик 
c h f h m
релаксация усули- 
дир. Бу усулга кура намуна температурасининг секин узга­
риш жараёнида тулдирувчи кучланиш \ар бир кайта ула- 
нишидан сунг сигим релаксациясидан берилган 
t = t {
ва 
t = t 2
вактлардаги С(г1) ва 
C(t2)
сигимларни (5.8-расм), улар 
фаркини
ДС21= С ( 0 - С ( /2)
^амда температурани (масалан, термопара ишлатилганда 
термо ЭЮ Кли) автоматик тарзда улчаб боради ва А С нинг 
температурага богланиши АС
( Т )
топилади. 
ва 
t2
ларни 
узгартириб, ДС2, (
Т )
нинг “оиласи” (5.9-расм) чизилади
293

---

л с 2, ( т )
5 4 3 2
1
5 4 3 2 1
150
2 5 0
3 5 0
7 , 
К
5.9-расм. Р'-п типдаги GaAs диодда Unp-*-U га к,айта улащцан
сунг С2,(Т) нинг температурага богланиши.
1. /,=0,02 мс: /2= 0,2 мс; 2. /,=0,05 мс: /,=0,5 мс;
3. /,=0,1 мс: /2= 1,0 мс; 4. /,=0,2 мс: /2= 2,0 мс;
5. /,=0,5 
м с ,
/2=5,0 
м с .
ва улар ёрдамида релаксация вак,тининг температурага 
богланиши г (7) аникданади. Бу улчанган богланишлар 
орк,али ЧС параметрларини топишни тахдил кдлайлик.
Чукур сатх, (ЧС) учун